I sistemi di cuscinetti d'aria in granitu sò largamente usati inultra-precisionepiattaforme di muvimentu per a fabricazione di semiconduttori, l'allineamentu otticu è a metrologia à scala nanometrica.
Questi sistemi eliminanu u cuntattu meccanicu utilizendu una fina pellicola d'aria pressurizzata, ottenendu un muvimentu di attritu quasi nullu.
Principiu di u cuscinettu d'aria
I cuscinetti d'aria funzionanu introducendu aria compressa trà duie superfici, furmendu una pellicola d'aria di 2-20 μm.
Questu elimina:
- attritu meccanicu
- Purtà
- Cumportamentu di stick-slip
U sistema si basa nantu à a dinamica di u filmu fluidu è un flussu laminare stabile.
U rolu di u granitu
U granitu furnisce:
- Stabilità strutturale
- Soppressione di a deriva termica
- Smorzamentu di vibrazioni
Serve cum'è basa di riferimentu meccanicu per u sistema di muvimentu.
Cumponenti di u Sistema
- Base di granitu
- Cuscinetti di cuscinetti d'aria
- Sistema di furnimentu d'aria
- Encoder di precisione
- Sistema di cuntrollu di muvimentu
Caratteristiche di prestazione
A prestazione tipica include:
- Precisione di pusizionamentu submicronica
- Alta rettilineità annantu à longa corsa
- Zero ghjocu meccanicu
E fonti principali d'errore includenu l'instabilità di a pressione di l'aria, a deriva termica è l'errore di l'encoder.
Applicazioni
- Ispezione di wafer di semiconduttori
- Sistemi di litografia
- Piattaforme di allineamentu otticu
- Macchine di metrologia di alta gamma
FAQ
I cuscinetti d'aria si usuranu?
Nisun cuntattu meccanicu elimina l'usura.
Perchè aduprà u granitu?
Per a stabilità è l'ammortizazione di e vibrazioni.
Chì limita a precisione?
Stabilità di l'aria è effetti termichi.
Puderanu purtà carichi pesanti?
Iè, secondu u disignu.
Data di publicazione: 03 lug 2026