♦ Alumina (Al2O3)
I pezzi di ceramica di precisione prudutti da ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) ponu esse fatti di materie prime ceramiche di alta purezza, 92~97% alumina, 99,5% alumina, >99,9% alumina, è pressatura isostatica à fretu CIP. Sinterizzazione à alta temperatura è machinazione di precisione, precisione dimensionale di ± 0,001 mm, levigatezza finu à Ra0,1, temperatura d'usu finu à 1600 gradi. Diversi culori di ceramica ponu esse fatti secondu i requisiti di i clienti, cum'è: neru, biancu, beige, rossu scuru, ecc. I pezzi di ceramica di precisione prudutti da a nostra sucietà sò resistenti à alta temperatura, corrosione, usura è isolamentu, è ponu esse aduprati per un longu tempu in alta temperatura, vacuum è ambiente di gas corrosivi.
Ampiamente adupratu in una varietà di apparecchiature di pruduzzione di semiconduttori: Telai (supporto ceramicu), substratu (base), bracciu / ponte (manipulatore), cumpunenti meccanichi è cuscinetti d'aria ceramichi.
| Nome di u produttu | Tubu / Pipa / Asta Quadrata in Ceramica d'Allumina 99 d'Alta Purezza | |||||
| Indice | Unità | 85% Al2O3 | 95% Al2O3 | 99% Al2O3 | 99,5% Al2O3 | |
| Densità | g/cm3 | 3.3 | 3,65 | 3.8 | 3.9 | |
| Assorbimentu d'acqua | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
| Temperatura sinterizzata | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| Durezza | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| Forza di flessione (20 ℃)) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| Forza di cumpressione | Kgf/cm2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| Temperatura di travagliu à longu andà | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| Temperatura massima di travagliu | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| Resistività di u vulume | 20℃ | Ω. cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
| 100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300 ℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 | ||
Applicazione di ceramica d'alumina d'alta purezza:
1. Applicatu à l'equipaggiu di semiconduttori: mandrinu à vuoto ceramicu, discu di taglio, discu di pulizia, MANDRINO ceramicu.
2. Parti di trasferimentu di wafer: mandrini per a manipulazione di wafer, dischi per u tagliu di wafer, dischi per a pulizia di wafer, ventose per l'ispezione ottica di wafer.
3. Industria di display à pannellu pianu LED / LCD: ugello ceramicu, discu di macinazione ceramica, PIN DI SOLLEVAMENTU, binario PIN.
4. Cumunicazione ottica, industria solare: tubi ceramici, aste ceramiche, raschietti ceramici per serigrafia di circuiti stampati.
5. Parti resistenti à u calore è isolanti elettricamente: cuscinetti ceramici.
Attualmente, a ceramica d'ossidu d'aluminiu pò esse divisa in ceramica d'alta purezza è ceramica cumuna. A serie di ceramica d'ossidu d'aluminiu d'alta purezza si riferisce à u materiale ceramicu chì cuntene più di 99,9% Al₂O₃. Per via di a so temperatura di sinterizazione finu à 1650 - 1990 ° C è a so lunghezza d'onda di trasmissione di 1 ~ 6 μm, hè generalmente trasfurmatu in vetru fusu invece di crogiolu di platinu: chì pò esse adupratu cum'è tubu di sodiu per via di a so trasmittanza di luce è a resistenza à a corrosione di i metalli alcalini. In l'industria elettronica, pò esse adupratu cum'è materiale isolante d'alta frequenza per i substrati IC. Sicondu i diversi cuntenuti di ossidu d'aluminiu, a serie cumuna di ceramica d'ossidu d'aluminiu pò esse divisa in 99 ceramica, 95 ceramica, 90 ceramica è 85 ceramica. Calchì volta, a ceramica cù 80% o 75% di ossidu d'aluminiu hè ancu classificata cum'è serie cumuna di ceramica d'ossidu d'aluminiu. Frà elli, u materiale ceramicu d'ossidu d'aluminiu 99 hè adupratu per pruduce crogioli à alta temperatura, tubi di fornu ignifughi è materiali speciali resistenti à l'usura, cum'è cuscinetti ceramici, guarnizioni ceramiche è piastre di valvula. A ceramica d'aluminiu 95 hè aduprata principalmente cum'è parte resistente à a corrosione è à l'usura. A ceramica 85 hè spessu mischiata in alcune proprietà, migliurendu cusì e prestazioni elettriche è a resistenza meccanica. Pò aduprà molibdenu, niobiu, tantalu è altre guarnizioni metalliche, è alcune sò aduprate cum'è dispositivi elettrici à vuoto.
| Articulu di qualità (valore rappresentativu) | Nome di u produttu | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
| Cumposizione chimica Prodottu di sinterizazione faciule à bassu cuntenutu di sodiu | H₂O | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| Lol | % | 0.1 | 0,2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
| SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
| Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
| MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| Diametru mediu di e particelle (MT-3300, metudu d'analisi laser) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| α Dimensione di u Cristallu | μm | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
| Densità di furmazione** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| Densità di sinterizazione** | g/cm³ | 3,88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3,88 | 3.77 | 3.22 | |
| Tassa di riduzione di a linea di sinterizzazione ** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* MgO ùn hè micca inclusu in u calculu di a purità di Al₂O₃.
* Nisuna polvere incrustante 29.4MPa (300kg/cm²), a temperatura di sinterizazione hè 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: Aghjunghje 0,05 ~ 0,1% MgO, a sinterizazione hè eccellente, dunque hè applicabile à a ceramica d'ossidu d'aluminiu cù una purezza di più di 99%.
AES-22S: Caratterizatu da una alta densità di furmazione è una bassa velocità di restringimentu di a linea di sinterizzazione, hè applicabile à a fusione à forma scorrevole è altri prudutti à grande scala cù a precisione dimensionale necessaria.
AES-23 / AES-31-03: Hà una densità di furmazione più alta, tixotropia è una viscosità più bassa chè AES-22S. U primu hè adupratu per a ceramica mentre u secondu hè adupratu cum'è riduttore d'acqua per i materiali ignifughi, guadagnendu pupularità.
♦Caratteristiche di u Carburu di Siliciu (SiC)
| Caratteristiche generali | Purità di i cumpunenti principali (% in pesu) | 97 | |
| Culore | Neru | ||
| Densità (g/cm³) | 3.1 | ||
| Assorbimentu d'acqua (%) | 0 | ||
| Caratteristiche Meccaniche | Resistenza à a flessione (MPa) | 400 | |
| Modulu di Young (GPa) | 400 | ||
| Durezza Vickers (GPa) | 20 | ||
| Caratteristiche termiche | Temperatura massima di funziunamentu (°C) | 1600 | |
| Coefficiente di dilatazione termica | Température d'exposition ~ 500 °C | 3.9 | |
| (1/°C x 10-6) | Température d'exposition ~ 800 °C | 4.3 | |
| Cunduttività termica (W/m x K) | 130 110 | ||
| Resistenza à u shock termicu ΔT (°C) | 300 | ||
| Caratteristiche elettriche | Resistività di vulume | 25°C | 3 x 106 |
| 300°C | - | ||
| 500°C | - | ||
| 800°C | - | ||
| Custante dielettrica | 10GHz | - | |
| Perdita dielettrica (x 10-4) | - | ||
| Fattore Q (x 10⁴) | - | ||
| Tensione di rottura dielettrica (KV/mm) | - | ||
♦ Ceramica di nitruru di siliciu
| Materiale | Unità | Si₃N₄ |
| Metudu di sinterizazione | - | Sinterizatu à pressione di gasu |
| Densità | g/cm³ | 3.22 |
| Culore | - | Grisu scuru |
| Tassa d'assorbimentu d'acqua | % | 0 |
| Modulu Ghjovanu | GPA | 290 |
| Durezza Vickers | GPA | 18 - 20 |
| Forza di cumpressione | Mpa | 2200 |
| Forza di flessione | Mpa | 650 |
| Cunduttività termica | W/mK | 25 |
| Resistenza à i scossi termichi | Δ (°C) | 450 - 650 |
| Temperatura massima di funziunamentu | °C | 1200 |
| Resistività di u vulume | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
| Custante dielettrica | - | 8.2 |
| Forza dielettrica | kV/mm | 16 |