U granitu hè statu un materiale cumunente in l'industria semiconduttore per e so eccellente proprietà meccanichi, è bassa coeffita di l'espansione termale. Eppuru, cù a semanda sempre a crescita di u più altu è a producività più alta è i materiali alternattivi sò emerati cum'è opzioni viabili per a fabricazione di equipamentu di cumpunenti. In questu articulu, exploratore alcune di i materiali alternativi per graniti parti di granitu in sementone semiconductori è cumparate i so vantaghji è iovantaghji.
Materiali alternative per puti di granitu
1. Materiali di ceramica
Materiati di Ceramiche di Vetro-Cervel è Cervità, anu adupratu assai) in l'industria semicondivu per via di u so codici di espansione bassa, chì hè vicinu à quellu di a silicon. In cunsequenza, questi materiali ponu furnisce megliu stabilità termale è precisione avanzata in u prucessu di fabbricazione semiconductor. Zerodur, in particulare, hà un altu gradu di homogeneità e stabilità, falla ti hà adattatu per a fabbricazione di l'equipamentu di lithografia.
Vantaghji:
- COEfficiente bassa di l'espansione termica
- alta precisione è stabilità
- Adattatu per l'applicazioni di alta temperatura
Svantaghji:
- U costu più altu cumparatu à u granitu
- relativamente fragile, pò pone sfide in machining è manipulazione
2. Ceramica
Materiali Ceramiche, Quì àminiu Asolicjidu (Al2o3), Silicon Carbide (Silicon carbide (Si3n4), SI3N4), siate proprietà infellente Cura di l'espansione di alta temperatura, è bassa a coefficienza di l'ora termale. Sti proprietà facenu ierieri ideali per e parte d'equipaggiu semicondturi chì dumandanu una stabilità è una stabilità termale è precisione.
Vantaghji:
- alta stabilità termale è forza
- COEfficient di l'espansione termale bassa
- Alta resistenza di resistenza è inerte chimica
Svantaghji:
- pò esse fragile è propensu à cracking, in particulare durante a macchina è a manipulazione
- Machining è pulitura di ceramica pò esse sfida è u tempu
3. Metalli
E frutti bil metalli, cum'è u titanu d'in l'insozione d'in l'altru cum'è u titanuru, sò stati aduprate per alcune parti di l'equipaggiu semicondizzori per ogni macchine eccellente è forza. Sò cumunimenti aduprati in applicazioni induve una stazione termale termale ùn hè micca necessariu, cum'è e parti di a càmmera, di coupli.
Vantaghji:
- Bona machinabilità è a saldità
- alta forza è ductilità
- pocu costu cumparatu à alcune di i materiali alternattivi
Svantaghji:
- COEfficiente di l'espansione termica alta
- micca adattatu per l'appiecazione di alta temperatura per via di prublemi di espansione termica
- Susceptibile à a corrosione è a contaminazione
Conclusione:
In sintomi, mentre i partiti populari per e parti di semicondturustori, materiali allandili sò emerati, ognunu cù vantaghji unichi è svantaghji. I materiali di ceramica vetru sò assai precisi è stabile ma pò esse fragile. Ceraminti sò forti è anu una stabilità termica eccellente ma pò ancu esse fragile, facendu più sfida à fabricazione. I metalli sò pocu costu è duttili, è ducile, ma anu un coefficiente più altu di espansione termale è sò sottumessi à a corrosione è a contaminazione. Quandu selezziunate materiali per l'equipaggiu semicondetti, Hè cruciale per cunsiderà i requisiti specifichi di l'applicazione è in materiale di u bilegziu, u performance.
Tempu post: Mar-19-2024