In u campu di a fabricazione di semiconduttori, l'equipaggiu d'ispezione ottica automatica (AOI) ghjoca un rollu cruciale per assicurà a qualità di i chip. Ancu un ligeru miglioramentu in a so precisione di rilevazione puderia purtà una grande trasfurmazione in tutta l'industria. A basa di l'equipaggiu, cum'è cumpunente chjave, hà un impattu prufondu nantu à a precisione di rilevazione. In l'ultimi anni, una rivoluzione in i materiali di basa hà spazzatu l'industria. U granitu, cù e so eccezziunali prestazioni di soppressione di e vibrazioni, hà gradualmente rimpiazzatu i materiali tradiziunali di ghisa è hè diventatu u novu preferitu di l'equipaggiu d'ispezione AOI. A so efficienza di soppressione di e vibrazioni hè aumentata di 92% paragunata à a ghisa. Chì scoperte tecnologiche è cambiamenti industriali si trovanu daretu à questi dati?
I requisiti stretti per e vibrazioni in l'equipaggiu d'ispezione AOI di semiconduttori
U prucessu di fabricazione di chip semiconduttori hè entratu in l'era nanoscala. Durante u prucessu d'ispezione AOI, ancu vibrazioni estremamente chjuche ponu causà deviazioni in i risultati di l'ispezione. I graffi fini, i vuoti è altri difetti nantu à a superficia di u chip sò spessu à u livellu micrometricu o ancu nanometricu. E lenti ottiche di l'equipaggiu di rilevazione devenu catturà questi dettagli cù una precisione estremamente alta. Ogni vibrazione trasmessa da a basa farà chì a lente si sposti o si scuzzuli, risultendu in una acquisizione d'immagine sfocata è cusì affettendu a precisione di u ricunniscimentu di i difetti.
I materiali di ghisa eranu una volta largamente usati in e basi di l'equipaggiu d'ispezione AOI perchè anu una certa forza è prestazioni di trasfurmazione, è u costu hè relativamente bassu. Tuttavia, in termini di soppressione di vibrazioni, a ghisa hà difetti evidenti. A struttura interna di a ghisa cuntene un gran numeru di fogli di grafite, chì sò equivalenti à picculi vuoti à l'internu è interrompenu a continuità di u materiale. Quandu l'equipaggiu funziona è genera vibrazioni, o hè disturbatu da vibrazioni ambientali esterne, l'energia di vibrazione ùn pò esse attenuata efficacemente in a ghisa, ma hè constantemente riflessa è sovrapposta trà u fogliu di grafite è a matrice, risultendu in a propagazione cuntinua di vibrazioni. Esperimenti pertinenti mostranu chì dopu chì a basa di ghisa hè eccitata da vibrazioni esterne, u tempu di attenuazione di vibrazioni pò durà parechji secondi, ciò chì avarà un impattu seriu nantu à a precisione di rilevazione durante questu periodu. Inoltre, u modulu elasticu di a ghisa hè relativamente bassu. Sottu l'azione à longu andà di a gravità di l'equipaggiu è di u stress di vibrazione, hè propensu à deformazione, intensificendu ulteriormente a trasmissione di vibrazioni.
U sicretu daretu à un aumentu di 92% di l'efficienza di soppressione di vibrazioni di e basi di granitu
U granitu, cum'è una spezia di petra naturale, hà furmatu una struttura interna estremamente densa è uniforme per via di prucessi geologichi annantu à centinaie di milioni d'anni. Hè cumpostu principalmente di cristalli minerali cum'è u quarzu è u feldspatu strettamente cumminati, è i ligami chimichi trà i cristalli sò forti è stabili. Sta struttura dà à u granitu una capacità eccezziunale di soppressione di e vibrazioni. Quandu a vibrazione hè trasmessa à a basa di granitu, i cristalli minerali in ellu ponu cunvertisce rapidamente l'energia di vibrazione in energia termica è dissipà la. Studi mostranu chì u smorzamentu di u granitu hè parechje volte più altu di quellu di a ghisa, ciò chì significa chì pò assorbe l'energia di vibrazione in modu più efficiente, riducendu l'ampiezza è a durata di a vibrazione. Dopu à testi prufessiunali, in e stesse cundizioni di eccitazione di vibrazioni, u tempu di attenuazione di e vibrazioni di a basa di granitu hè solu l'8% di quellu di a ghisa, è l'efficienza di soppressione di e vibrazioni hè aumentata di u 92%.
L'alta durezza è l'altu modulu elasticu di u granitu cuntribuiscenu ancu significativamente. L'alta durezza assicura chì a basa hè menu prubabile di deformassi quandu porta u pesu di l'attrezzatura è l'impatti di forza esterna, è mantene sempre un statu di supportu stabile. L'altu modulu elasticu assicura chì a basa pò vultà rapidamente à a so forma originale quandu hè sottumessa à vibrazioni, riducendu l'accumulazione di vibrazioni. Inoltre, u granitu hà una eccellente stabilità termica è hè quasi inalterabile da i cambiamenti di temperatura ambientale, evitendu l'espansione termica è a deformazione di cuntrazione causata da fluttuazioni di temperatura, assicurendu cusì ulteriormente a stabilità di e prestazioni di soppressione di vibrazioni.
Trasfurmazione di l'industria è prospettive purtate da basi di granitu
L'equipaggiu d'ispezione AOI cù una basa di granitu hà migliuratu significativamente a so precisione di rilevazione. Pò identificà in modu affidabile i difetti in i chips di dimensioni più chjuche, riducendu u tassu di errore di valutazione à 1% è aumentendu assai u tassu di rendimentu di a pruduzzione di chips. Intantu, a stabilità di l'equipaggiu hè stata migliurata, riducendu u numeru di arresti per manutenzione causati da prublemi di vibrazioni, allungendu a vita di serviziu di l'equipaggiu è riducendu i costi operativi generali.
Data di publicazione: 14 di maghju 2025