In i campi di a fabricazione di alta gamma è di a ricerca scientifica d'avanguardia, a piattaforma di muvimentu flottante d'aria à pressione statica di precisione hè l'equipaggiu chjave per ottene un funziunamentu ultra-precisu. A basa di precisione in granitu hè a parte principale di supportu di a piattaforma, è e so prestazioni sò strettamente ligate à l'ambiente di travagliu. Capisce è risponde à questi requisiti ambientali ùn pò micca solu assicurà u funziunamentu d'alta precisione di a piattaforma, ma ancu una parte impurtante di l'impresa per migliurà a so cumpetitività in i campi cunnessi, chì hè descrittu in dettagliu quì sottu.
1. Temperatura: cuntrollu precisu per assicurà a stabilità dimensionale
Ancu s'è u granitu hè cunnisciutu per a so stabilità, u so coefficientu di dilatazione termica ùn hè micca zeru, è i picculi cambiamenti di temperatura ponu ancu influenzà a so precisione dimensionale. In generale, u coefficientu di dilatazione termica di u granitu hè 5-7 ×10⁻⁶/℃. In u scenariu d'applicazione di a piattaforma di muvimentu flottante d'aria à pressione statica di precisione, questu ligeru cambiamentu hè amplificatu da a piattaforma, ciò chì pò purtà à a deviazione di a precisione di u muvimentu. Per esempiu, in u prucessu di fabricazione di chip semiconduttori, u prucessu di litografia per i requisiti di precisione di pusizionamentu di u livellu danami, a fluttuazione di a temperatura ambiente di 1 ° C, a lunghezza di u latu di a basa di granitu di 1 metru pò pruduce 5-7 micron di espansione o cuntrazione lineare, chì hè abbastanza per fà a deviazione di u mudellu di litografia di u chip, riduce u rendimentu. Dunque, a piattaforma flottante d'aria à pressione statica di precisione equipata cù una basa di precisione di granitu, a temperatura ideale di l'ambiente di travagliu deve esse strettamente cuntrullata à 20 ° C ± 1 ° C, l'imprese ponu installà un sistema di climatizazione à temperatura costante di alta precisione, monitorà continuamente è aghjustà accuratamente a temperatura ambiente, mantene a dimensione di a stabilità di a basa di granitu, per assicurà chì a piattaforma funziona à alta precisione.
2.umidità: cuntrollu raghjonevule, prutege u rendiment di basa
L'umidità hà ancu un effettu significativu nantu à e basi di granitu di precisione. In un ambiente cù alta umidità, u granitu hè faciule d'assorbe u vapore acqueo, è ci pò esse cundensazione nantu à a superficia, chì ùn solu interferisce cù u funziunamentu nurmale di u sistema di flottazione d'aria, ma porta ancu à l'erosione à longu andà di a superficia di granitu, riducendu a so precisione è a so durata di vita. Pigliendu cum'è esempiu l'attellu di macinazione di lenti ottiche, se l'umidità hè superiore à 60% RH per un bellu pezzu, u vapore acqueo adsorbitu nantu à a superficia di a basa di granitu distruggerà l'uniformità di u film di flottazione d'aria, risultendu in una diminuzione di a precisione di macinazione di lenti è difetti di superficia. Dunque, l'umidità relativa di l'ambiente di travagliu deve esse cuntrullata trà 40%-60% RH. L'imprese ponu aduprà deumidificatori, sensori di umidità è altri equipaggiamenti per monitorà è cuntrullà l'umidità in tempu reale, creà un ambiente di umidità adattatu per a basa di granitu di precisione è assicurà u funziunamentu stabile di a piattaforma di muvimentu di flottazione d'aria à pressione statica di precisione.
3. pulizia: cuntrollu strettu, eliminazione di l'interferenza di particelle
E particelle di polvere sò u "nemicu" di a piattaforma di muvimentu flottante d'aria à pressione statica di precisione, è facenu un grande dannu à a basa di precisione in granitu. Una volta chì e piccule particelle entranu in u spaziu di u film di gas trà u slider di u galleggiante di gas è a basa di granitu, ponu distrughje l'uniformità di u film di gas, aumentà l'attritu, è ancu graffià a superficia di a basa, affettendu seriamente a precisione di u muvimentu di a piattaforma. In l'officina di machinazione ultra-precisione di pezzi aerospaziali, se e particelle di polvere in l'aria cascanu nantu à a basa di granitu, a traiettoria di u muvimentu di l'utensile di machinazione pò esse deviata, affettendu a precisione di machinazione di i pezzi. Dunque, l'area di travagliu deve esse mantenuta assai pulita è ghjunghje à un standard di pulizia di 10.000 o ancu più altu. L'imprese ponu filtrà e particelle di polvere in l'aria installendu filtri d'aria à alta efficienza (HEPA), è richiedenu à u persunale di purtà vestiti senza polvere, copriscarpe, ecc., per riduce a polvere purtata da l'omu, è mantene l'ambiente operativu di alta precisione di a basa di granitu è di a piattaforma di muvimentu flottante d'aria à pressione statica di precisione.
4. Vibrazione: Isolamentu efficace per creà un spaziu lisciu
A vibrazione esterna interferisce seriamente cù a precisione di a piattaforma flottante d'aria à pressione statica di precisione, ancu s'è a basa di granitu di precisione hà una certa capacità d'attenuazione di e vibrazioni, ma a vibrazione d'alta resistenza pò ancu rompe u so limite di buffer. A vibrazione generata da u trafficu intornu à a fabbrica è u funziunamentu di grandi apparecchiature meccaniche hè trasmessa à a basa di granitu attraversu u terrenu, ciò chì interferisce cù a precisione di u muvimentu di a piattaforma. In CMM di fascia alta, a vibrazione pò causà instabilità di u cuntattu trà a sonda di misurazione è u pezzu da misurà, risultendu in una deviazione di i dati di misurazione. Per risolve stu prublema, hè necessariu aduttà misure efficaci d'isolamentu di e vibrazioni, cum'è a posa di cuscinetti d'isolamentu di e vibrazioni in l'area d'installazione di l'apparecchiature, a custruzzione di fundazioni d'isolamentu di e vibrazioni, o l'usu di un sistema attivu d'isolamentu di e vibrazioni per compensà attivamente e vibrazioni esterne, è creà un ambiente di travagliu tranquillu è stabile per a basa di granitu di precisione è a piattaforma di muvimentu flottante d'aria à pressione statica di precisione.
Risponde à i requisiti ambientali sopra citati, per dà pienu ghjocu à i vantaghji di a basa di precisione in granitu in a piattaforma di muvimentu flottante d'aria à pressione statica di precisione, per assicurà chì a piattaforma furnisce servizii di cuntrollu di muvimentu di alta precisione è alta stabilità per diverse industrie. Se l'imprese ponu fà attenzione à questi dettagli in l'ambiente di pruduzzione, coglieranu l'opportunità in a fabricazione di precisione, a ricerca scientifica è altri campi, migliureranu a so cumpetitività è realizzeranu un sviluppu sustenibile.
Data di publicazione: 10 d'aprile di u 2025