I cumpunenti di granitu sò stati largamente aduprati in u prucessu di fabricazione di semiconduttori per via di e so eccellenti caratteristiche cum'è a finitura superficiale superiore, l'alta rigidità è l'eccellente smorzamentu di e vibrazioni. I cumpunenti di granitu sò essenziali per l'attrezzatura di fabricazione di semiconduttori, cumprese e macchine di litografia, e macchine di lucidatura è i sistemi di metrologia, postu chì furniscenu un pusizionamentu precisu è stabilità durante u prucessu di fabricazione. Malgradu tutti i vantaghji di l'usu di cumpunenti di granitu, anu ancu difetti. In questu articulu, discuteremu i difetti di i cumpunenti di granitu per i prudutti di u prucessu di fabricazione di semiconduttori.
Prima, i cumpunenti di granitu anu un altu coefficientu di dilatazione termica. Significa chì si espandenu significativamente sottu à u stress termicu, ciò chì puderia causà prublemi durante u prucessu di fabricazione. U prucessu di fabricazione di semiconduttori richiede alta precisione è accuratezza dimensionale chì puderia esse compromessa per via di u stress termicu. Per esempiu, a deformazione di u wafer di siliciu per via di l'espansione termica puderia causà prublemi di allineamentu durante a litografia, ciò chì puderia compromettere a qualità di u dispusitivu semiconduttore.
Siconda, i cumpunenti di granitu anu difetti di porosità chì puderanu causà perdite di vacuum in u prucessu di fabricazione di semiconduttori. A presenza d'aria o di qualsiasi altru gasu in u sistema puderia causà contaminazione nantu à a superficia di a cialda, risultendu in difetti chì puderanu influenzà e prestazioni di u dispusitivu semiconduttore. I gasi inerti cum'è l'argon è l'eliu puderanu infiltrà si in i cumpunenti di granitu porosi è creà bolle di gasu chì puderanu interferisce cù l'integrità di u prucessu di vacuum.
Terzu, i cumpunenti di granitu anu microfratture chì puderanu interferisce cù a precisione di u prucessu di fabricazione. U granitu hè un materiale fragile chì puderia sviluppà microfratture cù u tempu, in particulare quandu hè espostu à cicli di stress custanti. A presenza di microfratture puderia purtà à instabilità dimensionale, causendu prublemi significativi durante u prucessu di fabricazione, cum'è l'allineamentu litograficu o a lucidatura di i wafer.
Quartu, i cumpunenti di granitu anu una flessibilità limitata. U prucessu di fabricazione di semiconduttori richiede apparecchiature flessibili chì puderanu accoglie diversi cambiamenti di prucessu. Tuttavia, i cumpunenti di granitu sò rigidi è ùn si ponu adattà à diversi cambiamenti di prucessu. Dunque, qualsiasi cambiamentu in u prucessu di fabricazione richiede a rimuzione o a sustituzione di i cumpunenti di granitu, ciò chì porta à tempi di inattività è affetta a produttività.
Quintu, i cumpunenti di granitu necessitanu una manipulazione è un trasportu particulari per via di u so pesu è di a so fragilità. U granitu hè un materiale densu è pesante chì richiede apparecchiature di manipulazione specializate cum'è gru è elevatori. Inoltre, i cumpunenti di granitu necessitanu un imballaggio è un trasportu attenti per impedisce danni durante u trasportu, ciò chì porta à costi è tempi supplementari.
In cunclusione, i cumpunenti di granitu anu qualchi svantaghji chì puderanu influenzà a qualità è a produttività di i prudutti di u prucessu di fabricazione di semiconduttori. Quessi difetti puderanu esse minimizzati per mezu di una manipulazione è una manutenzione attenta di i cumpunenti di granitu, cumprese l'ispezione periodica per e microfratture è i difetti di porosità, una pulizia adatta per prevene a contaminazione è una manipulazione attenta durante u trasportu. Malgradu i difetti, i cumpunenti di granitu restanu una parte vitale di u prucessu di fabricazione di semiconduttori per via di a so finitura superficiale superiore, l'alta rigidità è l'eccellente smorzamentu di e vibrazioni.
Data di publicazione: 05 dicembre 2023