Fabbricazione di semiconduttori: In u prucessu di fabricazione di chip, u prucessu di fotolitografia hà bisognu di trasferisce u mudellu di circuitu precisamente à u wafer. A basa di granitu di u modulu di muvimentu ultra-precisione à flottazione d'aria à un asse pò furnisce un pusizionamentu di alta precisione è un supportu stabile per a tavola di u wafer in l'equipaggiu di litografia. Per esempiu, ASML è altri pruduttori di macchine di litografia di fama internaziunale utilizanu moduli di muvimentu à flottazione d'aria à basa di granitu in i so equipaggiamenti di alta gamma, chì ponu cuntrullà a precisione di pusizionamentu di u wafer à u livellu nanometricu per assicurà a precisione di u mudellu di litografia, migliurendu cusì l'integrazione è e prestazioni di u chip.
Campu di misurazione di precisione: CMM hè un equipagiu di misurazione di precisione cumunimenti utilizatu in a pruduzzione industriale, chì hè utilizatu per misurà a dimensione, a forma è a precisione di pusizione di a pezza. U modulu di muvimentu ultra-precisione di u galleggiante d'aria à un asse nantu à a basa di granitu pò esse utilizatu cum'è piattaforma di muvimentu di a CMM, chì pò realizà un muvimentu lineare d'alta precisione è furnisce una traiettoria di muvimentu stabile per a sonda di misurazione. Per esempiu, a CMM di fascia alta di Hexagon usa sta cumbinazione per misurà pezzi grandi è cumplessi cù una precisione di misurazione finu à u livellu di micron, furnendu una forte garanzia per u cuntrollu di qualità di i pezzi in l'industria automobilistica, aerospaziale è altre industrie.
Campu aerospaziale: In a trasfurmazione è a prova di pezzi aerospaziali, hè necessaria una alta precisione. Per esempiu, a machinazione di e pale di u mutore di l'aeromobili richiede un cuntrollu precisu di a traiettoria di u muvimentu di l'utensile per assicurà a precisione di u prufilu di a pala. A basa di granitu di u modulu di muvimentu ultra-precisione à galleggiante d'aria à un asse pò esse applicata à u centru di machinazione à cinque assi è à altri equipaghji per furnisce un cuntrollu di muvimentu d'alta precisione per l'utensile è assicurà chì a precisione di machinazione di a pala pò risponde à i requisiti di cuncepimentu. À u listessu tempu, in u prucessu di assemblaggio di u mutore aeronauticu, hè ancu necessariu aduprà equipaghji di misurazione d'alta precisione per rilevà a precisione di assemblaggio di i pezzi. U modulu di muvimentu à galleggiante d'aria di a basa di granitu pò furnisce un supportu stabile è un muvimentu precisu per l'equipaghji di misurazione per assicurà a qualità di l'assemblaggio.
Campu d'ispezione ottica: In u prucessu di fabricazione è di prova di cumpunenti ottici, hè necessariu realizà un pusizionamentu è una misurazione di alta precisione di cumpunenti ottici. Per esempiu, quandu si fabricanu cumpunenti ottici di alta precisione cum'è specchi è lenti, hè necessariu aduprà interferometri è altri equipaggiamenti per rilevà a precisione di a forma di a superficia. A basa di granitu di u modulu di muvimentu ultra-precisione à flottazione d'aria à un asse pò esse aduprata cum'è piattaforma di muvimentu di l'interferometru, chì pò realizà a precisione di pusizionamentu sub-micron è furnisce un supportu di dati precisu per a rilevazione di cumpunenti ottici. Inoltre, in l'equipaggiu di trasfurmazione laser, hè ancu necessariu aduprà una piattaforma di muvimentu di alta precisione per cuntrullà a traiettoria di scansione di u raghju laser, a basa di granitu di u modulu di muvimentu à flottazione d'aria pò risponde à questu requisitu, per ottene un trasfurmazione laser di alta precisione.
Data di publicazione: 07 d'aprile di u 2025