In l'industria di i semiconduttori, l'ispezione di i wafer hè un ligame chjave per assicurà a qualità è e prestazioni di u chip, è a precisione è a stabilità di a tavula d'ispezione ghjocanu un rolu decisivu in i risultati di a rilevazione. A basa di granitu cù e so caratteristiche uniche, diventa a scelta ideale per a tavula d'ispezione di wafer di semiconduttori, a seguita da l'analisi multidimensionale per voi.
Prima, a dimensione di garanzia di precisione
1. Planarità è rettangulatura ultra-alta: A basa di granitu hè trattata da una tecnulugia di trasfurmazione avanzata, è a planarità pò ghjunghje à ± 0,001 mm / m o ancu una precisione più alta, è a rettangulatura hè ancu eccellente. In u prucessu d'ispezione di u wafer, u pianu d'alta precisione furnisce un supportu stabile per u wafer è assicura un cuntattu precisu trà a sonda di l'equipaggiu d'ispezione è i giunti di saldatura nantu à a superficia di u wafer.
2. Cuefficiente di dilatazione termica assai bassu: a fabricazione di semiconduttori hè sensibile à i cambiamenti di temperatura, è u cuefficiente di dilatazione termica di u granitu hè estremamente bassu, di solitu circa 5 × 10⁻⁶/℃. Quandu a piattaforma di rilevazione hè in funzione, ancu s'è a temperatura ambiente fluttua, a dimensione di a basa di granitu cambia assai pocu. Per esempiu, in u laboratoriu à alta temperatura in estate, a temperatura di a piattaforma di rilevazione di basa metallica cumuna pò causà u cambiamentu di a pusizione relativa di u wafer è di l'equipaggiu di rilevazione, affettendu a precisione di rilevazione; A piattaforma di rilevazione di basa di granitu pò mantene a stabilità, assicurà a precisione di a pusizione relativa di u wafer è di l'equipaggiu di rilevazione durante u prucessu di rilevazione, è furnisce un ambiente stabile per a rilevazione di alta precisione.
Siconda, dimensione di stabilità
1. Struttura stabile è resistenza à e vibrazioni: U granitu dopu à milioni d'anni di prucessi geologichi, a struttura interna hè densa è uniforme. In l'ambiente cumplessu di una fabbrica di semiconduttori, a vibrazione generata da u funziunamentu di l'equipaggiamenti periferichi è di u persunale chì cammina intornu hè efficacemente attenuata da a basa di granitu.
2. Precisione d'usu à longu andà: paragunatu à altri materiali, u granitu hà una durezza elevata, una forte resistenza à l'usura, è a durezza Mohs pò ghjunghje à 6-7. A superficia di basa di granitu ùn hè micca facilmente usurata durante l'operazioni frequenti di carica, scaricamentu è ispezione di wafer. Sicondu l'usu attuale di e statistiche di dati, l'usu di a tavula di prova di basa di granitu, u funziunamentu continuu dopu à 5000 ore, a precisione di planarità è di rettangulanza pò ancu esse mantenuta à più di u 98% di a precisione iniziale, riducendu l'equipaggiu per via di l'usura di a basa causata da i tempi di calibrazione è manutenzione regulare, riducendu i costi operativi di l'impresa, per assicurà a stabilità à longu andà di u travagliu di prova.
Terza dimensione, pulita è anti-interferenza
1. Bassa generazione di polvere: l'ambiente di fabricazione di semiconduttori deve esse assai pulitu, è u materiale di granitu stessu hè stabile è ùn hè micca faciule da pruduce particelle di polvere. Durante u funziunamentu di a piattaforma di prova, si evita chì a polvere generata da a basa inquini u wafer, è si riduce u risicu di cortu circuitu è circuitu apertu causatu da particelle di polvere. In l'area d'ispezione di u wafer di l'attellu senza polvere, a cuncentrazione di polvere intornu à a tavula d'ispezione di a basa di granitu hè sempre cuntrullata à un livellu estremamente bassu, rispondendu à i requisiti di pulizia rigorosi di l'industria di i semiconduttori.
2. Nisuna interferenza magnetica: l'equipaggiu di rilevazione hè sensibile à l'ambiente elettromagneticu, è u granitu hè un materiale non magneticu, chì ùn interferisce micca cù u signale elettronicu di l'equipaggiu di rilevazione. In l'usu di a rilevazione di u fasciu elettronicu è altre tecnulugie di prova chì richiedenu un ambiente elettromagneticu estremamente altu, a basa di granitu assicura a trasmissione stabile di u signale elettronicu di l'equipaggiu di rilevazione è assicura a precisione di i risultati di a prova. Per esempiu, quandu a cialda hè testata per prestazioni elettriche di alta precisione, a basa di granitu non magnetica evita l'interferenza cù i signali di corrente è tensione di rilevazione, in modu chì i dati di rilevazione riflettinu veramente e caratteristiche elettriche di a cialda.
Data di publicazione: 31 di marzu di u 2025