Studiu nantu à a soglia d'influenza di a fluttuazione di a temperatura ambiente nantu à a precisione di a misurazione di a piattaforma di precisione di granitu.

In u campu di a misurazione di precisione, a piattaforma di precisione in granitu, cù a so eccellente stabilità, alta durezza è bona resistenza à l'usura, hè diventata u supportu di basa ideale per parechji travagli di misurazione di alta precisione. Tuttavia, e fluttuazioni di temperatura in i fattori ambientali, cum'è u "killer di precisione" piattu in u bughju, anu un impattu micca trascurabile nantu à a precisione di a misurazione di a piattaforma di precisione in granitu. Hè di grande impurtanza investigà in prufundità a soglia d'influenza per assicurà a precisione è l'affidabilità di u travagliu di misurazione.

Ancu s'è u granitu hè cunnisciutu per a so stabilità, ùn hè micca immune à i cambiamenti di temperatura. I so cumpunenti principali sò u quarzu, u feldspatu è altri minerali, chì pruduceranu fenomeni di espansione termica è cuntrazione à diverse temperature. Quandu a temperatura ambiente aumenta, a piattaforma di precisione di granitu hè riscaldata è espansa, è a dimensione di a piattaforma cambierà ligeramente. Quandu a temperatura cala, si restringerà à u so statu originale. I cambiamenti di dimensione apparentemente chjuchi ponu esse amplificati in fattori chjave chì influenzanu i risultati di misurazione in scenarii di misurazione di precisione.

Pigliendu cum'è esempiu u strumentu di misurazione di coordinate cumunu chì currisponde à a piattaforma di granitu, in u compitu di misurazione di alta precisione, i requisiti di precisione di misurazione spessu ghjunghjenu à u livellu di micron o ancu più altu. Si suppone chì à a temperatura standard di 20 ℃, i vari parametri dimensionali di a piattaforma sò in un statu ideale, è dati precisi ponu esse ottenuti misurendu a pezza. Quandu a temperatura ambiente fluttua, a situazione hè assai diversa. Dopu un gran numeru di statistiche di dati sperimentali è analisi teoriche, in circustanze nurmali, a fluttuazione di a temperatura ambientale di 1 ℃, l'espansione o a cuntrazione lineare di a piattaforma di precisione di granitu hè di circa 5-7 × 10⁻⁶/℃. Questu significa chì per una piattaforma di granitu cù una lunghezza di latu di 1 metru, a lunghezza di u latu pò cambià di 5-7 micron se a temperatura cambia di 1 ° C. In e misurazioni di precisione, un tale cambiamentu di dimensione hè sufficiente per causà errori di misurazione fora di l'intervallu accettabile.
Per u travagliu di misurazione richiestu da diversi livelli di precisione, a soglia d'influenza di a fluttuazione di a temperatura hè ancu diversa. In a misurazione di precisione ordinaria, cum'è a misurazione di a dimensione di e parti meccaniche, se l'errore di misurazione permessu hè in ± 20 micron, secondu u calculu di u coefficientu di espansione sopra, a fluttuazione di a temperatura deve esse cuntrullata in l'intervallu di ± 3-4 ℃, per cuntrullà l'errore di misurazione causatu da u cambiamentu di dimensione di a piattaforma à un livellu accettabile. In e zone cù esigenze di alta precisione, cum'è a misurazione di u prucessu di litografia in a fabricazione di chip semiconduttori, l'errore hè permessu in ± 1 micron, è a fluttuazione di a temperatura deve esse strettamente cuntrullata in ± 0,1-0,2 ° C. Una volta chì a fluttuazione di a temperatura supera sta soglia, l'espansione è a cuntrazione termica di a piattaforma di granitu ponu causà deviazioni in i risultati di misurazione, chì influenzeranu u rendimentu di a fabricazione di chip.
Per trattà l'influenza di a fluttuazione di a temperatura ambiente nantu à a precisione di misurazione di a piattaforma di precisione di granitu, parechje misure sò spessu aduttate in u travagliu praticu. Per esempiu, l'equipaggiu di temperatura costante di alta precisione hè stallatu in l'ambiente di misurazione per cuntrullà a fluttuazione di a temperatura in un intervallu assai chjucu; A compensazione di a temperatura hè effettuata nantu à i dati di misurazione, è i risultati di a misurazione sò curretti da un algoritmu di software secondu u coefficientu di dilatazione termica di a piattaforma è i cambiamenti di temperatura in tempu reale. Tuttavia, indipendentemente da e misure prese, a comprensione precisa di l'impattu di e fluttuazioni di a temperatura ambiente nantu à a precisione di misurazione di a piattaforma di precisione di granitu hè a premessa per assicurà un travagliu di misurazione precisu è affidabile.