Mentre una piattaforma di granitu pò sembrà una simplice lastra di petra, i criteri di selezzione cambianu drasticamente quandu si passa da applicazioni industriali ordinarie à ispezione ottica è metrologia à altu livellu. Per ZHHIMG®, furnisce cumpunenti di precisione à i leader mundiali in a tecnulugia di semiconduttori è laser significa ricunnosce chì una piattaforma per a misurazione ottica ùn hè micca solu una basa - hè una parte integrante è micca negoziabile di u sistema otticu stessu.
I requisiti per l'ispezione ottica - chì includenu l'imaghjini à alta ingrandimentu, a scansione laser è l'interferometria - sò definiti da a necessità di eliminà tutte e fonti di rumore di misurazione. Questu porta à una focalizazione nantu à trè proprietà speciali chì distinguenu una vera piattaforma ottica da una industriale standard.
1. Densità superiore per un smorzamentu di vibrazioni senza paragone
Per e basi CNC industriali standard, a ghisa o u granitu tipicu puderanu offre una rigidità adatta. Tuttavia, e cunfigurazioni ottiche sò eccezziunalmente sensibili à i spostamenti minusculi causati da vibrazioni esterne da l'attrezzature di fabbrica, i sistemi di trattamentu di l'aria, o ancu u trafficu luntanu.
Eccu induve a scienza di i materiali diventa di primura. Una piattaforma ottica richiede granitu cù un smorzamentu eccezziunale di u materiale inerente. ZHHIMG® utilizza u so Granitu Neru ZHHIMG® pruprietariu (≈ 3100 kg/m³). Stu materiale à densità ultra alta, à u cuntrariu di i sustituti di granitu o marmaru di qualità inferiore, pussede una struttura cristallina assai efficiente in a dissipazione di l'energia meccanica. L'obiettivu ùn hè micca solu di riduce e vibrazioni, ma di assicurà chì a basa resti un pianu meccanicu cumpletamente silenziu, minimizendu u muvimentu relativu trà a lente obiettiva è u campione ispezionatu à u livellu submicronicu.
2. Stabilità termica estrema per cumbatte a deriva
E piattaforme industriali standard tolleranu picculi cambiamenti dimensionali; un decimu di gradu Celsius puderia ùn esse impurtante per a perforazione. Ma in i sistemi ottici chì realizanu misurazioni precise per periodi estesi, qualsiasi deriva termica in a geometria di a basa introduce un errore sistematicu.
Per l'ispezione ottica, una piattaforma deve agisce cum'è un dissipatore termicu cù un coefficientu di dilatazione termica (CTE) eccezziunalemente bassu. A massa è a densità superiori di ZHHIMG® Black Granite furniscenu l'inerzia termica necessaria per resistere à espansioni è cuntrazioni minuscule chì ponu accade in una stanza climatizzata. Questa stabilità assicura chì a distanza focale calibrata è l'allineamentu planare di i cumpunenti ottici restanu fissi, garantendu l'integrità di e misurazioni chì duranu ore - un fattore micca negoziabile per l'ispezione di wafer ad alta risoluzione o a metrologia di display piatti.
3. Ottenimentu di piattezza à livellu nanometricu è precisione geometrica
A differenza più visibile hè l'esigenza di planarità. Mentre una basa industriale ordinaria pò risponde à a planarità di Gradu 1 o Gradu 0 (misurata in pochi micron), i sistemi ottici richiedenu una precisione in a gamma di nanometri. Stu livellu di perfezione geometrica hè necessariu per furnisce un pianu di riferimentu affidabile per i tavoli lineari è i sistemi di autofocus chì operanu secondu i principii di l'interferenza luminosa.
Uttene è certificà a planarità à livellu nanometricu richiede un approcciu di fabricazione cumpletamente differente. Implica tecniche altamente specializate chì utilizanu macchine avanzate cum'è e smerigliatrici Taiwan Nanter è hè cunfirmatu da apparecchiature metrologiche sofisticate cum'è l'interferometri laser Renishaw. Stu prucessu deve esse realizatu in un ambiente ultra-stabile, cum'è l'officine di ZHHIMG® cù smorzamentu di vibrazioni è clima cuntrullatu, induve ancu i muvimenti suttili di l'aria sò minimizzati.
In fondu, sceglie una piattaforma di precisione in granitu per l'ispezione ottica hè una decisione d'investisce in un cumpunente chì garantisce attivamente a precisione di a misurazione ottica stessa. Richiede una cullaburazione cù un fabricatore chì vede a certificazione ISO 9001 è a tracciabilità dimensionale cumpleta micca cum'è caratteristiche opzionali, ma cum'è requisiti fundamentali per entre in u mondu di l'ottica di ultra precisione.
Data di publicazione: 21 d'ottobre di u 2025