In a catena precisa di fabricazione di semiconduttori, u sistema di trasferimentu di wafer hè cum'è a "linea di vita di a linea di pruduzzione di chip", è a so stabilità è precisione determinanu direttamente u rendimentu di i chip. A nova generazione di sistemi di trasferimentu di wafer combina rivoluzionariamente motori lineari cù basi di granitu, è i vantaghji unichi di i materiali di granitu sò precisamente u codice principale per sbloccare una trasmissione à alte prestazioni.
Base di granitu: Custruisce una "fundazione solida cum'è una roccia" per una trasmissione stabile
U granitu, avendu subitu centinaie di milioni d'anni di raffinamentu geologicu, presenta una cristallizazione minerale interna densa è uniforme. Sta caratteristica naturale ne face un materiale di basa ideale per i sistemi di trasferimentu di wafer. In l'ambiente cumplessu di e camere bianche di semiconduttori, u granitu, cù u so coefficientu di dilatazione termica ultra-bassu (solu 5-7 ×10⁻⁶/℃), pò resiste à u calore generatu durante u funziunamentu di l'apparecchiatura è à l'influenza di i cambiamenti di temperatura ambientale, assicurendu a stabilità di a dimensione di a basa è evitendu a deviazione di u percorsu di trasmissione causata da a deformazione termica. E so eccezziunali prestazioni di smorzamentu di vibrazioni ponu assorbe rapidamente e vibrazioni meccaniche generate durante l'avviamentu, l'arrestu è l'accelerazione di i motori lineari, è ancu l'interferenze esterne purtate da u funziunamentu di altre apparecchiature in l'officina, furnendu una piattaforma stabile cù "scuzzulimentu zero" per a trasmissione di wafer.
Intantu, a stabilità chimica di u granitu assicura ch'ellu ùn si corrode o ùn arrugginisce micca in l'atelieri di semiconduttori induve i reagenti acidi è alcalini sò volatili è hè necessaria una alta pulizia, evitendu cusì l'impattu nantu à a precisione di trasmissione per via di l'invecchiamentu di u materiale o di l'adsorbimentu di inquinanti. E caratteristiche di a superficia liscia è densa ponu riduce più efficacemente l'adesione di a polvere, rispettendu i standard stretti senza polvere di e camere pulite è eliminendu u risicu di contaminazione di e wafer da a radice.
L'effettu di "partenariatu d'oru" di i motori lineari è di u granitu
I motori lineari, cù e so caratteristiche di nisuna distanza di trasmissione meccanica, alta accelerazione è alta velocità di risposta, danu à a trasmissione di i wafer i vantaghji di "rapidità, precisione è stabilità". A basa di granitu furnisce una piattaforma di supportu solida è affidabile. I dui travaglianu inseme per ottene un saltu in termini di prestazioni. Quandu u mutore lineare spinge u supportu di wafer per corre nantu à a pista di basa di granitu, a forte rigidità è stabilità di a basa assicuranu a trasmissione efficiente di a forza motrice di u mutore, evitendu a perdita di forza o u ritardu di trasmissione causatu da a deformazione di a basa.
Spinti da a dumanda di precisione nanoscala, i motori lineari ponu ottene un cuntrollu di spustamentu à livellu submicronicu. E caratteristiche di trasfurmazione d'alta precisione di e basi di granitu (cù errori di planarità cuntrullati in ±1 μm) currispondenu perfettamente à u cuntrollu precisu di i motori lineari, assicurendu inseme chì l'errore di pusizionamentu durante a trasmissione di i wafer hè inferiore à ±5 μm. Ch'ella sia un traslocu à alta velocità trà diversi equipaghji di prucessu o un parcheghju precisu per u trasferimentu di i wafer, a cumminazione di motori lineari è basi di granitu pò assicurà "deviazione zero è jitter zero" in a trasmissione di i wafer.
Verificazione di e pratiche industriali: Doppiu miglioramentu di l'efficienza è di u tassu di rendimentu
Dopu avè migliuratu u so sistema di trasferimentu di wafer, una impresa mundiale di semiconduttori di punta hà aduttatu una suluzione di mutore lineare + basa di granitu, chì hà aumentatu l'efficienza di trasferimentu di wafer di 40%, hà riduttu u tassu di occorrenza di difetti cum'è collisione è offset durante u prucessu di trasferimentu di 85%, è hà migliuratu u tassu di rendimentu generale di i chip di 6%. Daretu à i dati si trova a garanzia di stabilità di trasmissione furnita da a basa di granitu è l'effettu sinergicu d'alta velocità è precisu di u mutore lineare, chì riduce significativamente a perdita è l'errore in u prucessu di trasmissione di u wafer.
Da e proprietà di i materiali à a fabricazione di precisione, da i vantaghji di e prestazioni à a verificazione pratica, a cumbinazione di motori lineari è basi di granitu hà ridefinitu i standard di i sistemi di trasferimentu di wafer. In u futuru, quandu a tecnulugia di i semiconduttori avanza versu i prucessi di 3 nm è 2 nm, i materiali di granitu continueranu sicuramente à dà un forte impulsu à u sviluppu di l'industria cù i so vantaghji insustituibili.
Data di publicazione: 14 di maghju 2025