Materiale di granitu sò stili utilizati in l'industria di semicondiduto a causa di e so caratteristiche eccellenti, cum'è a stabilità di alta casa, è espansione bassa, è risistenza alta, è a resistenza bassa, à a corrosione. Queste proprietà facenu un anticu un materiale ideale per custruisce cumpunenti di alta precisione in un sistema di trasferimentu di wafer.
In u prucessu di fabricazione semiconductor, u sistema di trasferimentu di wafer ghjoca un rolu criticu in u trasportu di i caccia in diverse tappe di u prucessu di fabricazione. A precisione è a precisione sò i requisiti essenziali per questi sistemi chì ancu e deviazioni puderanu periculu u prucessu sanu. Dunque, cumpunenti in u sistema di trasferimentu wafer deve esse fattu da materiali à alta qualità, è u granitu scontra quelli criteri.
Alcune parti di u sistema di trasferimentu wafer chì sò fatti da i materiali di u granitu include:
1. Tavulu di chuck vacuum
U tavulinu Chuck Chuck hè usatu per tenendu a cera nera durante u prucessu, è deve avè una superficia stabile per assicurà chì a wafer ùn hè micca dannatu. Granitu hè materiale ideale per fà una tabella perchè hà una superficia flat, senza porcu chì furnisce alta stabilità è di precisione. Inoldine, u granitu hà un coefficiente bassu di espansione termale, facendu resistente à i cambiamenti di temperatura chì puderanu causà cambiamenti dimensionali in a wafer.
2. Fase di aerea
A fase di l'aereu hè aduprata per trasportà a wafer à traversu diverse tappe di u prucessu di fabricazione. U palcuscenicu hè ingegneria per furnisce un muvimentu senza friczione, chì esige una alta precisione è stabilità. U granitu hè adupratu in sta applicazione perchè hè una pietra rigidu è duru, è riceve una deformazione è usura cù u tempu.
3. E guide di muvimenti lineari
E guide lineari mutidi sò usati per guidà a tappa di tenite aerinta, è i sò da esse situati accuratamente per minimizzà l'erroni. U granitu hè adupratu per custruisce sta guida perchè hà una stabilità meccanica eccellente è forza. U materiale hè ancu resistente di a corrosione, chì assicure a longevità di u sistema Guida.
4. Equipamentu Metrologia
L'equipaggiu di metrulu hè usatu per misurà e dimensioni è e proprietà di a cera durante u prucessu di fabricazione. Granitu hè materiale ideale per custruisce stu equipamentu perchè hà una rigidità alta, è a deformation bassa, è a deformazione minimale sottu a carica. Inoltre, a stabilità termica di granitu assicura chì l'equipamentu di a metrologia ferma stabile è precisa cù u tempu.
In cunclusione, l'industria sensizione in relazioni à a precisione è a precatura, e materiali sò micca scurdati per esse altamente rmiosi è stabili in u prucessu di fabricazione. Cù parechji cumpunenti critichi in u sistema di trasferimentu calivu chì richiranti alta stabilità chì necessiteghja è bassa espansione termale, ingegneri bassu per scuntrà questi requisiti critichi.
Tempu post: Mar-19-2024