I materiali di granitu sò largamente usati in l'industria di i semiconduttori per via di e so caratteristiche eccellenti, cum'è alta stabilità, bassa espansione termica è alta resistenza à a corrosione.Queste pruprietà facenu u granitu un materiale ideale per a custruzione di cumpunenti d'alta precisione in un sistema di trasferimentu di wafer.
In u prucessu di fabricazione di semiconduttori, u sistema di trasferimentu di wafer ghjoca un rolu criticu in u trasportu di wafer in diverse fasi di u prucessu di fabricazione.A precisione è a precisione sò i requisiti essenziali per questi sistemi, postu chì ancu ligere deviazioni puderanu mette in periculu tuttu u prucessu.Per quessa, i cumpunenti in u sistema di trasferimentu di wafer deve esse fatti di materiali d'alta qualità, è u granitu risponde à questi criteri.
Alcune parti di u sistema di trasferimentu di wafer chì sò fatti di materiali di granitu include:
1. Vacuum Chuck Table
A tavola di u vacuum chuck hè aduprata per mantene l'ostia durante u prucessu, è deve avè una superficia stabile per assicurà chì l'ostia ùn hè micca dannata.U granitu hè un materiale ideale per fà sta tavola perchè hà una superficia plana, non porosa, chì furnisce una alta stabilità è precisione.Inoltre, u granitu hà un coefficientu bassu di espansione termale, facendu resistente à i cambiamenti di temperatura chì puderanu causà cambiamenti dimensionali in l'ostia.
2. Stage Air-Bearing
U stadiu di l'aria hè aduprata per u trasportu di l'ostia attraversu diverse fasi di u prucessu di fabricazione.U palcuscenicu hè ingegneratu per furnisce un muvimentu senza attritu, chì richiede alta precisione è stabilità.U granitu hè utilizatu in questa applicazione perchè hè una petra rigida è dura, è resiste à a deformazione è l'usura cù u tempu.
3. Linear Motion Guides
I guidi di u muvimentu lineale sò usati per guidà u stadiu di l'aria, è devenu esse posizionati accuratamente per minimizzà l'errori.U granitu hè adupratu per custruisce sta guida perchè hà una stabilità meccanica è forza eccellente.U materiale hè ancu resistente à a corrosione, chì assicura a longevità di u sistema di guida.
4. Attrezzatura di metrologia
L'equipaggiu di metrologia hè utilizatu per misurà e dimensioni è e proprietà di l'ostia durante u prucessu di fabricazione.U granitu hè un materiale ideale per a custruzzione di stu equipamentu perchè hà una alta rigidità, una bassa espansione è una deformazione minima sottu a carica.Inoltre, a stabilità termica di u granitu assicura chì l'equipaggiu di metrologia resta stabile è precisu in u tempu.
In cunclusioni, l'industria di i semiconduttori s'appoghja nantu à a precisione è a precisione, è i materiali di granitu anu pruvatu à esse assai affidabili è stabili in u prucessu di fabricazione.Cù parechji cumpunenti critichi in u sistema di trasferimentu di wafer chì necessitanu alta stabilità, precisione è bassa espansione termica, l'ingegneri anu vultatu à i materiali di granitu per risponde à queste esigenze critiche.
Tempu di post: 19-mar-2024