I materiali di granitu sò largamente usati in l'industria di i semiconduttori per via di e so eccellenti caratteristiche, cum'è l'alta stabilità, a bassa espansione termica è l'alta resistenza à a corrosione. Queste proprietà rendenu u granitu un materiale ideale per a custruzione di cumpunenti di alta precisione in un sistema di trasferimentu di wafer.
In u prucessu di fabricazione di semiconduttori, u sistema di trasferimentu di wafer ghjoca un rolu cruciale in u trasportu di wafer attraversu e diverse tappe di u prucessu di fabricazione. A precisione è l'accuratezza sò i requisiti essenziali per questi sistemi, postu chì ancu piccule deviazioni puderanu mette in periculu tuttu u prucessu. Dunque, i cumpunenti di u sistema di trasferimentu di wafer devenu esse fatti di materiali di alta qualità, è u granitu risponde à questi criteri.
Alcune parti di u sistema di trasferimentu di wafer chì sò fatti di materiali di granitu includenu:
1. Tavula di Mandrinu à Aspirazione
A tavola di u mandrinu à vuoto hè aduprata per tene a cialda durante u prucessu, è deve avè una superficia stabile per assicurà chì a cialda ùn sia micca dannighjata. U granitu hè un materiale ideale per fà sta tavola perchè hà una superficia piana è micca porosa chì furnisce alta stabilità è precisione. Inoltre, u granitu hà un bassu coefficientu di dilatazione termica, chì a rende resistente à i cambiamenti di temperatura chì puderanu causà cambiamenti dimensionali in a cialda.
2. Fase di cuscinetti d'aria
U stadiu di cuscinettu d'aria hè adupratu per trasportà a cialda attraversu diverse tappe di u prucessu di fabricazione. U stadiu hè cuncipitu per furnisce un muvimentu senza attritu, chì richiede alta precisione è stabilità. U granitu hè adupratu in questa applicazione perchè hè una petra rigida è dura, è resiste à a deformazione è à l'usura cù u tempu.
3. Guide di muvimentu lineare
E guide di muvimentu lineare sò aduprate per guidà u stadiu di cuscinetti d'aria, è devenu esse posizionate currettamente per minimizà l'errori. U granitu hè adupratu per custruisce sta guida perchè hà una eccellente stabilità meccanica è resistenza. U materiale hè ancu resistente à a currusione, ciò chì garantisce a longevità di u sistema di guida.
4. Attrezzatura di metrologia
L'attrezzatura di metrologia hè aduprata per misurà e dimensioni è e proprietà di a cialda durante u prucessu di fabricazione. U granitu hè un materiale ideale per custruisce questu equipaggiamentu perchè hà una rigidità elevata, una bassa espansione è una deformazione minima sottu carica. Inoltre, a stabilità termica di u granitu assicura chì l'attrezzatura di metrologia resti stabile è precisa in u tempu.
In cunclusione, l'industria di i semiconduttori si basa nantu à a precisione è l'accuratezza, è i materiali di granitu anu dimustratu d'esse assai affidabili è stabili in u prucessu di fabricazione. Cù parechji cumpunenti critichi in u sistema di trasferimentu di wafer chì necessitanu alta stabilità, precisione è bassa espansione termica, l'ingegneri si sò rivolti à i materiali di granitu per risponde à questi requisiti critichi.
Data di publicazione: 19 di marzu di u 2024