In l'apparecchiature di fabricazione di semiconduttori è optoelettroniche, u granitu hè principalmente adupratu in parti chjave cum'è piattaforme di muvimentu di precisione, basi di guide, strutture di supportu per l'isolamentu di vibrazioni è substrati d'installazione di cumpunenti ottici. Queste parti anu esigenze estremamente elevate per a precisione, a stabilità è a tolleranza ambientale. E caratteristiche di u granitu ponu risponde precisamente à e richieste strette di l'industrie di semiconduttori è optoelettroniche. Quì sottu hè l'analisi di scenarii d'applicazione specifici è vantaghji:
I. Parti principali di l'applicazione
Piattaforme di muvimentu di precisione (cum'è piattaforme di wafer per macchine di fotolitografia è macchine di incollaggio)
Hè adupratu per purtà cumpunenti di precisione cum'è wafers è lenti ottiche, ottenendu movimenti di traslazione è rotazione cù precisione nanoscala.
Attrezzatura tipica: tavola di pezza di a macchina di fotolitografia, piattaforma di pusizionamentu di l'attrezzatura di misurazione.
Base di a guida è struttura di u quadru
Cum'è a basa d'installazione per e guide lineari è e guide di flottazione d'aria, sustene u mecanismu di muvimentu principale di l'attrezzatura.
Attrezzatura tipica: quadri meccanichi di apparecchiature di imballaggio di semiconduttori è strumenti di ispezione ottica.
Supportu d'isolamentu di vibrazioni è struttura stabilizante
Hè adupratu per isolà e vibrazioni esterne (cum'è e vibrazioni da u pianu di a fabbrica o durante u funziunamentu di l'attrezzatura), assicurendu a stabilità di i sistemi ottici o di e macchine di precisione.
Scenarii tipici: Supportu di basa per microscopi ottici è interferometri laser.
Sustratu di muntatura di cumpunenti ottichi
Riparate dispositivi ottici cum'è specchi, prismi è laser per assicurà a stabilità à longu andà di a precisione di l'allineamentu di u sistema di percorsu otticu.
Attrezzatura tipica: Attrezzatura di imballaggio optoelettronica, sistemi di accoppiamentu di fibre ottiche.
Data di publicazione: 29 di maghju di u 2025