U granitu hè un materiale duru è durevule chì hè spessu adupratu in l'industria di a custruzzione. Tuttavia, hà ancu proprietà chì u rendenu utile in a fabricazione di semiconduttori, in particulare in a fabricazione è a trasfurmazione di circuiti integrati. I cumpunenti di granitu, cum'è e tavule di granitu è i blocchi di granitu, sò largamente aduprati per a so stabilità, planarità è bassu coefficientu di dilatazione termica.
Unu di l'usi principali di i cumpunenti di granitu in a fabricazione di semiconduttori hè in u prucessu di fabricazione. I wafer di silicone, i blocchi di custruzzione basi di i circuiti integrati, devenu esse fabbricati cù alta precisione è accuratezza. Ogni distorsione o muvimentu durante u prucessu pò purtà à difetti chì ponu influenzà a qualità è a funziunalità di i circuiti integrati. E tavule di granitu, cù a so alta stabilità è planarità, furniscenu una bona piattaforma per l'equipaggiu di trasfurmazione di wafer. Sò ancu resistenti à l'espansione è a cuntrazione termica causata da u riscaldamentu è u raffreddamentu richiesti in u prucessu.
I blocchi di granitu sò ancu usati in a trasfurmazione di semiconduttori per a so stabilità termica. Durante i prucessi di incisione o di deposizione, i gasi caldi o i plasmi sò usati per mudificà a superficia di a cialda di siliciu. A temperatura di a cialda deve esse cuntrullata per assicurà chì u prucessu sia realizatu in modu efficiente è precisu. I blocchi di granitu, cù u so bassu coefficientu di dilatazione termica, aiutanu à stabilizà a temperatura di a cialda, riducendu u risicu di fluttuazioni di temperatura chì puderanu influenzà a qualità di u materiale trasfurmatu.
Oltre à i prucessi di fabricazione è di trasfurmazione, i cumpunenti di granitu sò ancu aduprati in e fasi di metrologia è d'ispezione di a fabricazione di semiconduttori. E misurazioni metrologiche sò fatte per assicurà chì a dimensione, a forma è a pusizione di e strutture nantu à u wafer sianu in i limiti di e specificazioni richieste. I blocchi di granitu sò aduprati cum'è standard di riferimentu in queste misurazioni per via di a so stabilità dimensionale è di a so precisione. Sò ancu aduprati in e fasi d'ispezione, induve a qualità di i circuiti integrati hè verificata sottu alta ingrandimentu.
In generale, l'usu di cumpunenti di granitu in a fabricazione di semiconduttori hè aumentatu in l'ultimi anni. A necessità di alta precisione, accuratezza è stabilità in a fabricazione è a trasfurmazione di circuiti integrati hà purtatu à l'adopzione di sti materiali da i pruduttori di semiconduttori. E proprietà uniche di u granitu, cum'è a so durezza, stabilità è bassu coefficientu di dilatazione termica, ne facenu una scelta eccellente per l'usu in questi prucessi. Cù u sviluppu è u miglioramentu cuntinuu di a tecnulugia di i semiconduttori, si prevede chì l'usu di cumpunenti di granitu crescerà ulteriormente in u futuru.
Data di publicazione: 05 dicembre 2023