In campi cum'è a fabricazione di semiconduttori è i strumenti di misura di precisione, a precisione di e piattaforme di precisione in granitu determina direttamente a qualità operativa di l'attrezzatura. Per assicurà chì a precisione di a piattaforma rispetti i standard, si devenu fà sforzi da dui aspetti: a rilevazione di indicatori chjave è a conformità cù e norme standard.
Detezione di l'indicatore principale: cuntrollu multidimensionale di a precisione
Rilevazione di planarità: Determinazione di a "planarità" di u pianu di riferimentu
A planarità hè l'indicatore principale di e piattaforme di precisione in granitu, è hè generalmente misurata da interferometri laser o livelli elettronichi. L'interferometru laser pò misurà precisamente e minuscule ondulazioni nantu à a superficia di a piattaforma emettendu un raghju laser è utilizendu u principiu di l'interferenza luminosa, cù una precisione chì righjunghje u livellu submicron. U livellu elettronicu misura muvendusi parechje volte è disegna una mappa di contornu tridimensionale di a superficia di a piattaforma per rilevà s'ellu ci sò sporgenze o depressioni lucali. Per esempiu, e piattaforme di granitu aduprate in e macchine di fotolitografia à semiconduttori devenu avè una planarità di ± 0,5 μm / m, ciò chì significa chì a differenza di altezza in una lunghezza di 1 metru ùn deve micca superà a metà di un micrometru. Solu per mezu di apparecchiature di rilevazione d'alta precisione si pò assicurà questu standard strettu.
2. Rilevazione di rettilineità: Assicurà a "retritlineità" di u muvimentu lineare
Per e piattaforme chì portanu pezzi mobili di precisione, a rettangulanza hè di vitale impurtanza. I metudi cumuni per a rilevazione sò u metudu di u filu o u collimatore laser. U metudu di u filu implica a sospensione di fili d'acciaio di alta precisione è a paragunazione di u spaziu trà a superficia di a piattaforma è i fili d'acciaio per determinà a rettangulanza. U collimatore laser utilizza e caratteristiche di propagazione lineare di u laser per rilevà l'errore lineare di a superficia d'installazione di a rotaia di guida di a piattaforma. Se a rettangulanza ùn rispetta micca u standard, farà chì l'equipaggiu si sposti durante u muvimentu, affettendu a precisione di u trattamentu o di a misurazione.
3. Rilevazione di a rugosità superficiale: Assicurà a "finezza" di u cuntattu
A rugosità di a superficia di a piattaforma affetta l'adattamentu di l'installazione di i cumpunenti. In generale, un misuratore di rugosità à stilu o un microscopiu otticu hè utilizatu per a rilevazione. U strumentu di tipu stilu registra i cambiamenti d'altezza di u prufilu microscopicu cuntattendu a superficia di a piattaforma cù una sonda fina. I microscopi ottici ponu osservà direttamente a struttura di a superficia. In l'applicazioni d'alta precisione, a rugosità di a superficia di e piattaforme di granitu deve esse cuntrullata à Ra≤0,05 μm, chì hè equivalente à un effettu speculare, assicurendu chì i cumpunenti di precisione si adattanu bè durante l'installazione è evitendu vibrazioni o spustamenti causati da lacune.
I standard di precisione seguitanu: norme internaziunali è cuntrollu internu di l'impresa
Attualmente, à livellu internaziunale, e norme ISO 25178 è GB/T 24632 sò cumunamente aduprate cum'è basa per determinà a precisione di e piattaforme di granitu, è ci sò classificazioni chjare per indicatori cum'è a planarità è a rettangulanza. Inoltre, l'imprese di fabricazione di alta gamma spessu stabiliscenu norme di cuntrollu internu più severe. Per esempiu, u requisitu di planarità per a piattaforma di granitu di a macchina di fotolitografia hè 30% più altu ch'è a norma internaziunale. Quandu si realizanu testi, i dati misurati devenu esse paragunati cù e norme currispondenti. Solu e piattaforme chì rispettanu pienamente e norme ponu assicurà prestazioni stabili in apparecchiature di precisione.
L'ispezione di a precisione di e piattaforme di precisione in granitu hè un prughjettu sistematicu. Solu testendu strettamente l'indicatori principali cum'è a planarità, a linearità è a rugosità di a superficia, è aderendu à i standard internaziunali è d'impresa, si pò garantisce l'alta precisione è l'affidabilità di a piattaforma, ponendu una basa solida per i campi di fabricazione di alta gamma cum'è i semiconduttori è i strumenti di precisione.
Data di publicazione: 21 di maghju di u 2025