E basi di e macchine in granitu sò assai aduprate in i prudutti di l'apparecchiature di trasfurmazione di wafer per via di e so proprietà superiori cum'è l'alta rigidità, a stabilità è a precisione. L'assemblaggio, a prova è a calibrazione di una basa di macchina in granitu hè un prucessu criticu chì richiede a massima attenzione à i dettagli, a precisione è l'accuratezza. In questu articulu, discuteremu u prucessu passu à passu di assemblaggio, prova è calibrazione di una basa di macchina in granitu per i prudutti di l'apparecchiature di trasfurmazione di wafer.
Assemblaggio
U primu passu hè di preparà a piastra di superficia di granitu, a basa è a colonna per l'assemblea. Assicuratevi chì tutte e superfici sianu pulite, asciutte è prive di detriti, polvere o oliu. Inserite i perni di livellamentu in a basa è piazzate a piastra di superficia sopra. Ajustate i perni di livellamentu in modu chì a piastra di superficia sia orizzontale è livellata. Assicuratevi chì a piastra di superficia sia à livellu cù a basa è a colonna.
Dopu, stallate a colonna nantu à a basa è fissatela cù bulloni. Aduprate una chiave dinamometrica per stringhje i bulloni à u valore di coppia raccomandatu da u fabricatore. Verificate u livellu di a colonna è aghjustate i perni di livellamentu se necessariu.
Infine, installate u gruppu di u mandrinu in cima à a colonna. Aduprate una chiave dinamometrica per stringhje i bulloni à u valore di coppia raccomandatu da u fabricatore. Verificate u livellu di u gruppu di u mandrinu è aghjustate i perni di livellamentu se necessariu.
Test
Dopu avè assemblatu a basa di a macchina, u prossimu passu hè di pruvà a so funziunalità è a so precisione. Cunnette l'alimentazione è accende a macchina. Assicuratevi chì tutti i cumpunenti cum'è i motori, l'ingranaggi, e cinghie è i cuscinetti funzionanu currettamente è senza anomalie o rumori inusuali.
Per pruvà a precisione di a macchina, aduprate un indicatore di quadrante di precisione per misurà a runout di u mandrinu. Pone l'indicatore di quadrante nantu à a piastra di superficia, è girate u mandrinu. A runout massima permessa deve esse inferiore à 0,002 mm. Se a runout hè più grande di u limite permessu, aghjustate i perni di livellamentu è verificate torna.
Calibrazione
A calibrazione hè u passu cruciale per assicurà a precisione è l'accuratezza di a basa di a macchina. U prucessu di calibrazione implica a prova è l'aghjustamentu di i parametri di a macchina, cum'è a velocità, u pusizionamentu è a precisione, per assicurà chì a macchina risponde à e specificazioni di u fabricatore.
Per calibrà a macchina, avete bisognu di un strumentu di calibrazione, chì include un interferometru laser, un tracker laser, o una barra à sfera. Quessi strumenti misuranu u muvimentu, a pusizione è l'allineamentu di a macchina cù alta precisione.
Cuminciate per misurà l'assi lineari è angulari di a macchina. Aduprate u strumentu di calibrazione per misurà u muvimentu è a pusizione di a macchina annantu à una distanza o un angulu specificatu. Paragunate i valori misurati cù e specificazioni di u fabricatore. S'ellu ci hè una deviazione, aghjustate i parametri di a macchina, cum'è i motori, l'ingranaggi è l'azionamenti, per purtà i valori misurati in i limiti permessi.
Dopu, pruvate a funzione d'interpolazione circulare di a macchina. Aduprate u strumentu di calibrazione per creà un percorsu circulare è misurà u muvimentu è a pusizione di a macchina. Di novu, paragunate i valori misurati cù e specificazioni di u fabricatore è aghjustate i parametri se necessariu.
Infine, pruvate a ripetibilità di a macchina. Misurate a pusizione di a macchina in diversi punti durante un periodu specificatu. Paragunate i valori misurati è verificate eventuali deviazioni. S'ellu ci sò eventuali deviazioni, aghjustate i parametri di a macchina è ripetite a prova.
Cunclusione
L'assemblaggio, a prova è a calibrazione di una basa di macchina in granitu per i prudutti di l'equipaggiu di trasfurmazione di wafer hè un prucessu criticu chì richiede pacienza, attenzione à i dettagli è precisione. Seguendu questi passi, pudete assicurà chì a macchina risponde à e specificazioni di u fabricatore è funziona cun accuratezza, stabilità è precisione.
Data di publicazione: 28 dicembre 2023