In u mondu precisu di a fabricazione di semiconduttori, i testi non distruttivi di e cialde sò un ligame chjave per assicurà a qualità di i chip. A basa di granitu apparentemente insignificante hè in realtà l'"eroe micca celebratu" chì determina a precisione di rilevazione. Cumu diavulu affetta i risultati di i testi? Questu articulu realizzerà un'analisi approfondita da dimensioni cum'è e proprietà di i materiali è u disignu strutturale.
1. Fundazione stabile: I vantaghji naturali di u granitu ponenu una basa solida per a precisione
1. Eccellente prestazione sismica
Durante u funziunamentu di l'equipaggiu di prova non distruttiva di wafer, a rotazione di u mutore è u muvimentu di i cumpunenti meccanichi generaranu vibrazioni. Se queste vibrazioni ùn sò micca suppresse efficacemente, interferiscenu seriamente cù a precisione di a prova. L'internu di u granitu hè strettamente intrecciatu cù cristalli minerali cum'è u quarzu è u feldspatu. A so struttura unica li dà una capacità naturale di assorbimentu di vibrazioni, capace di assorbe più di u 90% di l'energia di vibrazione di l'equipaggiu. I dati di misurazione attuali di un certu produttore di semiconduttori mostranu chì dopu avè utilizatu a basa di granitu, l'ampiezza di vibrazione di l'equipaggiu di rilevazione hè stata ridutta da 12 μm à 2 μm, evitendu efficacemente a deviazione di u signale di rilevazione causata da vibrazioni.
2. Coefficiente di dilatazione termica estremamente bassu
Durante u prucessu di rilevazione, fattori cum'è u riscaldamentu di l'equipaggiu è i cambiamenti di temperatura ambientale affettanu tutti a stabilità di a basa di a macchina. I materiali ordinari si espandenu significativamente quandu sò riscaldati, ma u coefficientu di dilatazione termica di u granitu hè solu 1/5 di quellu di l'acciaiu. Ancu s'è a temperatura ambiente fluttua di 10 ℃, a so deformazione pò esse ignorata. Questu permette à a basa di granitu di furnisce una piattaforma di riferimentu stabile per l'equipaggiu d'ispezione, assicurendu chì a pusizione relativa trà a sonda d'ispezione è u wafer resti precisa in ogni mumentu è evitendu errori d'ispezione causati da a deformazione termica.
Siconda, cuncepimentu precisu: L'ottimisazione strutturale migliora ulteriormente l'affidabilità di a rilevazione
Trasfurmazione d'alta precisione è garanzia di planarità
A basa di granitu d'alta qualità hè trasfurmata da a tecnulugia CNC avanzata à cinque assi, cù una planarità di ± 0,5 μm / m, chì furnisce una riferenza d'installazione ultra-piana per l'equipaggiu d'ispezione. In l'ispezione di wafer, a verticalità è a livellazione di a sonda d'ispezione sò cruciali per i risultati di l'ispezione. Una basa di granitu d'alta precisione pò assicurà u pusizionamentu precisu di a sonda, rendendu i dati d'ispezione più precisi è affidabili.
2. Adattazione strutturale persunalizata
E basi di e macchine in granitu ponu esse persunalizate per diverse apparecchiature di test non distruttivi di wafer è esigenze di prucessu. Per esempiu, per risponde à i requisiti di l'apparecchiature di ispezione ottica per a riflessione di a luce, a superficia di a basa di a macchina pò esse trattata in modu speciale; Per risponde à i requisiti di installazione di l'apparecchiature di test à ultrasoni, a basa pò esse prefabbricata cù fori di installazione precisi è vassoi per cavi, chì permettenu una installazione rapida è precisa di l'apparecchiatura è riducendu e deviazioni di rilevazione causate da errori di installazione.
Iii. Stabilità à longu andà: Riduce a perdita di precisione causata da a manutenzione di l'attrezzatura
U granitu hà una durezza elevata è una forte resistenza à l'usura, cù una durezza Mohs da 6 à 7, chì hè trè volte a resistenza à l'usura di l'acciaiu ordinariu. Durante l'operazioni d'ispezione à longu andà, a superficia di a basa di a macchina ùn hè micca propensa à l'usura è pò sempre mantene un bonu statu di precisione. In cuntrastu, e basi fatte d'altri materiali ponu causà cambiamenti in u riferimentu d'installazione di l'equipaggiu per via di l'usura, affettendu cusì a precisione di rilevazione è richiedendu una calibrazione è una manutenzione frequenti. A longa durata di serviziu è l'alta stabilità di a basa di granitu riducenu efficacemente a frequenza di manutenzione di l'equipaggiu è diminuiscenu u risicu di perdita di precisione chì pò accade durante u prucessu di manutenzione.
Da a resistenza à i scossa, a resistenza à u calore à u cuncepimentu precisu, ogni caratteristica di a basa di granitu prutege a precisione di i testi non distruttivi di e cialde. In l'era attuale di a fabricazione di semiconduttori chì persegue a massima precisione, sceglie una basa di granitu di alta qualità hè cum'è aghjunghje un stratu solidu di assicurazione à a precisione è l'affidabilità di i risultati di i testi.
Data di publicazione: 18 di ghjugnu di u 2025