In u laburatoriu di precisione per a fabricazione di chip, ci hè un "eroe daretu à e quinte" apparentemente insignificante - a basa di a macchina di granitu. Ùn sottovalutate micca sta petra. Hè a chjave per assicurà a precisione di i testi non distruttivi di e cialde! Oghje, femu un'ochjata à cumu mantene l'equipaggiu di rilevazione sempre "orizzontale è verticale".
1. Natu cù un "gene stabile"
U granitu ùn hè micca una petra ordinaria. A so struttura interna hè cum'è un "puzzle minerale" strettamente intrecciatu. U quarzu, u feldspatu è altri cristalli sò disposti strettamente, cù una densità estremamente alta è quasi senza vuoti. Questu hè cum'è custruisce una casa cù cimentu armatu, chì hè à tempu solidu è stabile. Quandu l'attrezzatura d'ispezione "si mette" sopra, ancu s'ella pesa parechje tunnellate, a deformazione di a basa di granitu hè trascurabile, solu un decimu di quella di l'acciaiu!
Ancu più impressiunante hè chì ùn hà guasi paura di i cambiamenti di temperatura. I materiali metallichi ordinari tendenu à "espansione è ingrassà" quandu sò riscaldati è "contrae è diventanu più fini" quandu sò raffreddati. Tuttavia, u granitu pare avè una "magia di temperatura costante". Quandu a temperatura fluttua di 1 ℃, a so espansione è cuntrazione hè solu un millesimu di quella di un capellu umanu. Ci vole à nutà chì ancu s'ellu ci hè un ligeru cambiamentu di a temperatura di u laburatoriu di prova, a basa di granitu pò sustene fermamente l'equipaggiu è impedisce chì a livellazione "si devia".
Siconda, a tecnica di trasfurmazione di "dettagli diabolichi"
Per fà a basa di granitu più precisa, l'ingegneri anu utilizatu a "tecnologia nera" per a trasfurmazione. Imaginate di lucidà e petre cù una "super carta vetrata" fatta di diamanti - hè cusì chì funziona una macchina di smerigliatura à cinque assi. Smeriglierà a superficia di u granitu per esse più piatta chè un specchiu in trè passi:
Molatura grossolana: Prima, eliminate e imperfezioni superficiali di a petra è cuntrullate a planarità à un ventesimu di un capellu umanu.
Macinazione semi-fine: Ulteriore raffinamentu, cù a planarità aumentata à un cinquantesimu di capellu umanu.
Macinazione fina: Infine, hè lucidata cù una polvere di macinazione ultrafina, ottenendu una planarità di un millesimu di capellu umanu! À questu puntu, a superficia di a basa di granitu hè cum'è un "palcoscenicu orizzontale" fattu apposta per l'attrezzatura d'ispezione.
Certi supporti di alta gamma anu ancu un "cervellu intelligente" - u livellu d'alta precisione integratu hè cum'è una "piccula guardia" in serviziu 24 ore à ghjornu. Una volta chì rileva chì l'equipaggiu hè inclinatu di 0,01 gradi (un angulu più chjucu di quellu di a punta di una penna), u dispusitivu idraulicu si attiverà immediatamente è "raddrizzerà" l'equipaggiu in 30 secondi.
Terzu, u cuncepimentu ingegnosu migliora ulteriormente a stabilità
L'ingegneri si sò ancu scervellati nantu à a struttura di a basa di a macchina. U fondu hè fattu in una forma esagonale à favu d'ape, cum'è un alveare, chì ùn solu riduce u pesu, ma distribuisce ancu uniformemente a pressione. Quandu a sonda di rilevazione si move nantu à u wafer, a deformazione in ogni puntu di a basa hè guasi esattamente a stessa, assicurendu chì a riferenza orizzontale resti stabile tuttu u tempu.
Ancu più stupente hè chì un "ammortizzatore invisibile" - un ammortizzatore ceramicu piezoelettricu - hè stallatu trà a basa è a terra. Pò catturà diverse vibrazioni chì vanu da 1 à 1000Hz cum'è un radar è emette subitu onde inverse per "contrastà" l'interferenza. Per esempiu, e vibrazioni generate da u funziunamentu di e macchine accantu o i scossi di i veiculi chì passanu fora sò tutti "inutili" davanti à ellu.
I dati parlanu da sè stessi: quantu hè putente l'effettu?
In l'applicazioni pratiche, a prestazione di a basa di granitu hè veramente stupente:
Ispezione ottica: A precisione di l'identificazione di i difetti superficiali nantu à i wafer hè stata migliorata da 3 micron à 1 micron (1 micron = un sessantesimo di un capellu umanu).
Test ultrasonicu: L'errore in a misurazione di u spessore di a cialda hè statu riduttu di trè quarti.
Usu à longu andà: Dopu à un funziunamentu cuntinuu per un annu, u cambiamentu di livellamentu hè guasi trascurabile, mentre chì e basi di e macchine ordinarie sò diventate dapoi tantu tempu "curve".
Da i vantaghji di i materiali naturali à a trasfurmazione precisa è u disignu innovativu, a basa di granitu hà dimustratu cù a so "forza" chì sè vo vulete rilevà accuratamente i frammenti, sta petra hè veramente indispensabile!
Data di publicazione: 18 di ghjugnu di u 2025