In a fabricazione di semiconduttori, a macchina di fotolitografia hè un dispositivu chjave chì determina a precisione di i chip, è a basa di granitu, cù e so multiple caratteristiche, hè diventata un cumpunente indispensabile di a macchina di fotolitografia.
Stabilità termica: U "Scudo" contr'à i cambiamenti di temperatura
Quandu una macchina di fotolitografia hè in funzione, genera una grande quantità di calore. Ancu una fluttuazione di temperatura di solu 0,1 ℃ pò causà a deformazione di i cumpunenti di l'apparecchiatura è influenzà a precisione di a fotolitografia. U coefficientu di dilatazione termica di u granitu hè estremamente bassu, solu 4-8 ×10⁻⁶/℃, chì hè circa 1/3 di quellu di l'acciaiu è 1/5 di quellu di a lega d'aluminiu. Questu permette à a basa di granitu di mantene a stabilità dimensionale quandu a macchina di fotolitografia funziona per un bellu pezzu o quandu a temperatura ambientale cambia, assicurendu u pusizionamentu precisu di i cumpunenti ottici è di e strutture meccaniche.
Super prestazione antivibrazione: A "spugna" chì assorbe e vibrazioni
In una fabbrica di semiconduttori, u funziunamentu di l'attrezzatura circundante è u muvimentu di e persone ponu tutti generà vibrazioni. U granitu hà una alta densità è una struttura dura, è hà eccellenti proprietà di smorzamentu, cù un rapportu di smorzamentu da 2 à 5 volte quellu di i metalli. Quandu e vibrazioni esterne sò trasmesse à a basa di granitu, l'attritu trà i cristalli minerali interni cunverte l'energia di vibrazione in energia termica per a dissipazione, ciò chì pò riduce significativamente a vibrazione in pocu tempu, permettendu à a macchina di fotolitografia di restaurà rapidamente a stabilità è evità a sfocatura o u disallineamentu di u mudellu di fotolitografia per via di e vibrazioni.
Stabilità chimica: U "Guardianu" di un ambiente pulitu
L'internu di una macchina di fotolitografia vene in cuntattu cù diversi mezi chimichi, è i materiali metallichi ordinari sò propensi à a corrosione o à a liberazione di particelle. U granitu hè cumpostu di minerali cum'è u quarzu è u feldspatu. Hà proprietà chimiche stabili è una forte resistenza à a corrosione. Dopu esse statu immersu in soluzioni acide è alcaline, a corrosione superficiale hè estremamente chjuca. Intantu, a so struttura densa ùn genera quasi micca detriti o polvere, rispondendu à i requisiti di i più alti standard di camera bianca è riducendu u risicu di contaminazione di e wafer.
Adattabilità di u prucessu: U "materiale ideale" per creà benchmark precisi
I cumpunenti principali di a macchina di fotolitografia devenu esse stallati nantu à una superficia di riferimentu d'alta precisione. A struttura interna di u granitu hè uniforme è hè faciule da trasfurmà cù una precisione estremamente alta per mezu di a macinazione, a lucidatura è altre tecniche. A so planarità pò ghjunghje à ≤0,5 μm/m, è a rugosità superficiale Ra hè ≤0,05 μm, furnendu una basa d'installazione precisa per cumpunenti cum'è lenti ottiche.
Longa durata di vita è senza manutenzione: I "strumenti affilati" per a riduzione di i costi
In paragone cù i materiali metallichi chì sò propensi à a fatigue è à e screpolature cù l'usu à longu andà, u granitu ùn subisce guasi micca deformazioni plastiche o frattura sottu carichi nurmali, è ùn richiede micca trattamentu superficiale, evitendu cusì u risicu di sfaldatura è contaminazione di u rivestimentu. In l'applicazioni pratiche, dopu esse statu utilizatu per parechji anni, l'indicatori chjave di prestazione di a basa di granitu ponu ancu rimanere stabili, riducendu i costi operativi è di manutenzione di l'attrezzatura.
Da a stabilità termica, a resistenza à e vibrazioni à l'inerzia chimica, e multiple caratteristiche di a basa di granitu rispondenu perfettamente à i requisiti di a macchina di fotolitografia. Mentre u prucessu di fabricazione di chip cuntinueghja à sviluppassi versu una precisione più alta, e basi di granitu continueranu à ghjucà un rolu insustituibile in u campu di a fabricazione di semiconduttori.
Data di publicazione: 20 di maghju di u 2025