In u campu di a fabricazione di alta gamma è di a ricerca scientifica d'avanguardia, u modulu di muvimentu ultra-precisione di u galleggiante d'aria hè diventatu un equipagiu chjave per un funziunamentu è una misurazione fine cù e so eccellenti prestazioni di precisione. A basa di precisione in granitu, cum'è core di supportu, hà esigenze strette per l'ambiente di travagliu, è e cundizioni ambientali adatte sò a basa per assicurà e so prestazioni stabili è u megliu effettu.
Prima, u cuntrollu di a temperatura: "stabilizzatore" di precisione
Ancu s'è u granitu hè cunnisciutu per a so stabilità, ùn hè micca cumpletamente immune à i cambiamenti di temperatura. Ancu s'è u so coefficientu di dilatazione termica hè bassu, generalmente 5-7 ×10⁻⁶/℃, in scenarii di cuntrollu di muvimentu ultra-precisione, fluttuazioni di temperatura suttili ponu ancu causà cambiamenti dimensionali è influenzà a precisione di u modulu. In l'attellu di fabricazione di chip semiconduttori, u prucessu di litografia richiede una precisione di pusizionamentu di livellu danami, è a temperatura ambiente fluttua di 1 ° C, è a basa di granitu cù una lunghezza di latu di 1 metru pò pruduce una espansione o cuntrazione lineare di 5-7 micron. Stu picculu cambiamentu hè trasmessu da u modulu di muvimentu ultra-precisione di u galleggiante d'aria, chì hè abbastanza per fà devià u mudellu di litografia di u chip è riduce assai u rendimentu. Dunque, equipatu cù una basa di precisione in granitu di u modulu di muvimentu ultra-precisione flottante à aria, a temperatura ideale di l'ambiente di travagliu deve esse cuntrullata à 20 ° C ± 1 ° C, cù l'aiutu di apparecchiature di temperatura costante di alta precisione, cum'è un sistema di climatizazione à temperatura è umidità costante, monitoraghju è aghjustamentu continuu di a temperatura ambiente, per assicurà chì e fluttuazioni di temperatura in un intervallu assai chjucu, mantenenu a stabilità di a dimensione di a basa, per assicurà chì u funziunamentu di alta precisione di u modulu.
Siconda, a gestione di l'umidità: a chjave per a prutezzione di a "pietra" à prova d'umidità
L'umidità hè un altru fattore impurtante chì affetta a prestazione di a basa di granitu di precisione. In un ambiente cù alta umidità, u granitu hè faciule d'assorbe u vapore acqueo, ciò chì pò purtà à a cundensazione nantu à a superficia, ciò chì ùn solu affetta a stabilità di cunnessione di u granitu è u modulu di muvimentu ultra-precisione di u galleggiante d'aria, ma pò ancu causà l'erosione di a superficia è riduce a lucentezza è a precisione à longu andà. In l'attellu di macinazione di lenti ottiche, se l'umidità hè superiore à 60% RH per un bellu pezzu, u vapore acqueo adsorbitu nantu à a superficia di a basa di granitu interferirà cù u muvimentu di u slider di u galleggiante à gas, in modu chì a precisione di macinazione di e lenti sia ridutta è a superficia sia difettosa. Dunque, l'umidità relativa di l'ambiente di travagliu deve esse strettamente cuntrullata trà 40%-60% RH, chì pò esse monitorata è aghjustata in tempu reale installendu deumidificatori, sensori di umidità è altri equipaggiamenti per evità danni à a basa di granitu per via di l'alta umidità, è assicurà u funziunamentu lisciu di u modulu di muvimentu ultra-precisione di u galleggiante d'aria.
Terzu, garanzia di pulizia: u "guardianu" di a precisione
Ùn si pò micca sottustimà u dannu di e particelle di polvere à a basa di granitu di precisione di u modulu di muvimentu ultra-precisione di a flottazione d'aria. Una volta chì e piccule particelle entranu in u spaziu di u film di gas trà u slider di u galleggiante di gas è a basa di granitu, ponu distrughje l'uniformità di u film di gas, aumentà l'attritu, è ancu graffià a superficia di a basa, risultendu in una riduzione di a precisione di u muvimentu. In l'attellu di machinazione ultra-precisione di pezzi aerospaziali, se e particelle di polvere in l'aria cascanu nantu à a basa di granitu, a traiettoria di u muvimentu di l'utensile di machinazione pò esse deviata, affettendu a precisione di machinazione di i pezzi. Dunque, l'area di travagliu deve esse mantenuta assai pulita, righjunghjendu 10.000 o ancu livelli più alti di standard di pulizia, attraversu l'installazione di apparecchiature di purificazione di l'aria, cum'è filtri d'aria ad alta efficienza (HEPA), filtranu e particelle di polvere in l'aria, à u listessu tempu, u persunale deve purtà vestiti senza polvere, copriscarpe, ecc., per riduce a polvere purtata da l'omu. Mantene un ambiente operativu di alta precisione di a basa di granitu è di u modulu di muvimentu ultra-precisione di u galleggiante d'aria.
Quattru, isolamentu di vibrazioni: funziunamentu lisciu di u "cuscimentu d'urto"
A vibrazione esterna hè u nemicu di a precisione di u modulu di muvimentu ultra-precisione di u galleggiante d'aria. Ancu s'è a basa di granitu di precisione hà una certa capacità d'attenuazione di e vibrazioni, a vibrazione d'alta resistenza pò ancu rompe u so limite di buffer. A vibrazione generata da u trafficu intornu à a fabbrica è u funziunamentu di grandi apparecchiature meccaniche hè trasmessa à a basa di granitu attraversu a terra, ciò chì interferisce cù a precisione di u muvimentu di u modulu di muvimentu ultra-precisione di u galleggiante d'aria. In CMM di fascia alta, a vibrazione pò causà instabilità di u cuntattu trà a sonda di misurazione è u pezzu da misurà, risultendu in una deviazione di i dati di misurazione. Per risolve stu prublema, hè necessariu aduttà misure efficaci d'isolamentu di e vibrazioni, cum'è a posa di cuscinetti d'isolamentu di e vibrazioni in l'area d'installazione di l'apparecchiature, a custruzzione di fundazioni d'isolamentu di e vibrazioni, o l'usu di un sistema d'isolamentu di e vibrazioni attivu per compensà attivamente e vibrazioni esterne, è creà un ambiente di travagliu tranquillu è stabile per a basa di granitu di precisione è u modulu di muvimentu ultra-precisione di u galleggiante d'aria.
Solu rispondendu cumpletamente à i requisiti ambientali di temperatura, umidità, pulizia è cuntrollu di vibrazioni, a basa di precisione in granitu di u modulu di muvimentu ultra-precisione di u galleggiante d'aria pò dà pienu ghjocu à i so vantaghji di prestazione, furnisce una garanzia affidabile per operazioni ultra-precisione in vari campi, è aiutà l'industria à avanzà versu un livellu di fabricazione è di ricerca scientifica di più alta precisione.
Data di publicazione: 08 d'aprile 2025