Dumandate à qualsiasi ingegnere di semiconduttori ciò chì li mantene svegli, è a risposta hè raramente u sistema di muvimentu o l'ottica. Hè u pianu nantu à quale si trova a macchina. Un stadiu di wafer chì mantene 2 nanometri di pusizione nantu à a carta hà sempre bisognu di una basa chì ùn si moverà, ùn sonerà o ùn si riscalderà micca sottu.
Quella basa hè di solitu granitu neru. Micca perchè u granitu hè di moda, ma perchè face trè cose à tempu chì nisun metallu face: ferma fermu quandu a temperatura si move, inghjuttà e vibrazioni invece di trasmettele, è ùn arrugginisce nè striscia per una decina d'anni di funziunamentu 24 ore su 24, 7 ghjorni su 7. Questa hè a parte di u strumentu chì ZHHIMG custruisce.
Una grande piastra di granitu neru verificata in a fabbrica ZHHIMG - a planarità hè pruvata cù strumenti, micca prumesse.
U prublema hè a stabilità, micca a forza
L'equipaggiu à semiconduttori ùn hè micca pisante perchè hà bisognu di forza. Hè pisante perchè hà bisognu di stabilità. L'arnese deve mantene a so geometria mentre i motori si movenu, mentre a stanza si riscalda è si raffredda, è mentre funziona per mesi senza pausa.
L'acciaiu è a ghisa si movenu cù a temperatura. Anch'elli sonanu. In un strumentu chì misura caratteristiche più chjuche di un virus, una basa chì sona hè una basa chì falla. L'obiettivu hè una superficia chì ferma una superficia di riferimentu tuttu l'annu, micca solu u ghjornu di l'installazione.
Perchè u Granitu Neru Vince
U nostru granitu neru scorre à una densità di circa3.100 kg/m³Una densità alta significa una bassa porosità. Una bassa porosità significa chì a petra ùn assorbe micca l'umidità, ùn si gonfia micca in camere bianche umide è ùn si move micca cù u cambiamentu di e stagioni.
Trè altre proprietà sò altrettantu impurtanti. U granitu hà una bassa dilatazione termica, dunque una variazione di temperatura u move assai menu di u metallu. Hà un altu smorzamentu internu, dunque a vibrazione si trasforma in calore invece di viaghjà versu u wafer. È hè non magneticu è antiruggine, dunque ùn disturberà i sensori nè perderà a corrosione cù u tempu. Per un strumentu chì deve tene nanometri, questu hè tuttu u ghjocu.
Induve u Granitu si trova in un Strumentu Semiconduttore
Fornemu granitu per e parte di l'utensile induve si decide a precisione. Ciò include i tavuli d'ispezione è di metrologia di wafer, piattaforme di litografia è laser, apparecchiature di incollaggio è imballaggio, telai CMP è di planarizzazione, è usistemi di gantry in granituchì portanu l'ottiche è e sonde attraversu a pezza.
U listessu materiale sustene ancu e basi di e macchine per a perforazione di PCB, l'ispezione ottica è l'assemblaggio di precisione. Strumenti diversi, listessa esigenza: una riferenza chì ùn cuntrasta micca a misurazione.
I dettagli chì decidenu una fase di wafer
Un bloccu di granitu ùn hè micca un cumpunente. Ciò chì ne face unu hè u travagliu intornu. Machinamu inserti filettati, canali di vuoto, sacchetti di cuscinetti d'aria, percorsi di cavi è piani di montaggio in a petra, dopu mantenemu a geometria trà di elli à u disegnu.
I fori è l'inserti sò disposti in modu chì u palcuscenicu, l'ottica è i binari di viaghju s'allineanu senza spessori in situ. Questa hè a differenza trà una lastra è uncumpunente di granitu di precisione— è hè per quessa chì i custruttori di l'attrezzature ci mandanu u disegnu di l'interfaccia, micca solu e dimensioni esterne.
A manu chì leghje un micron
A planarità nantu à una piastra di granitu hè sempre finita à manu. I nostri maestri lappatori manuali anu travagliatu u bancu finu à trenta anni. Puderanu sente un puntu altu à u livellu di micron, assai prima chì u strumentu sia chjamatu per cunfirmallu.
Trattemu sta cumpetenza cum'è un puntu di partenza, micca un certificatu. A manu prupone; u strumentu dispone. Ogni superficia critica hè tandu misurata nantu à a nostra linea d'ispezione, chì funziona cù apparecchiature daMahr (Germania), WYLER (Svizzera) è Renishaw (Regnu Unitu)Nunda ùn hè speditu finchè i numeri ùn currispondenu micca à u disegnu.
Certificatu, Brevettatu è Custruitu per esse Auditatu
ZHHIMG hè l'unica sucietà di u settore chì pussede a certificazione ISO 9001, ISO 45001, ISO 14001 è CE à u listessu tempu, sustinuta da più di 20 brevetti internaziunali. I clienti di semiconduttori facenu audit rigorosi, è preferimu ch'elli verifichinu tuttu.
U nostrugranitu di precisionehè adupratu da cumpagnie cum'è GE, Samsung è Oracle, è ricercatu cù istituzioni cum'è l'Università Naziunale di Singapore è istituti naziunali di metrologia in u Regnu Unitu, a Germania è i Stati Uniti. Quandu un laburatoriu naziunale di metrologia misura u materiale, a tolleranza hè un fattu misuratu, micca un numeru di marketing. Nisuna truffa, nisuna dissimulazione, nisun ingannu - hè cusì chì travagliamu.
Perchè i custruttori continuanu à vultà
Quandu un strumentu à semiconduttori hè speditu, a basa hè a parte chì nimu ùn specifica di novu. Funziona, o tutta a macchina hè rottame. I custruttori tornanu à ZHHIMG perchè i numeri si mantenenu, a finitura si mantene, è a geometria si mantene per tutta a vita di a piattaforma.
Sè vo cuncepite una tavola, un portale o una basa di macchina, mandate ci u budget di precisione, u caricu è l'ambiente. I nostri ingegneri abbineranu u gradu di granitu, u spessore è u layout di l'insertu à u travagliu - è vi daranu i dati di misurazione per pruvà lu. Esplorate u nostrusuluzioni di granitu di ultra-alta precisioneper cumincià.
Data di publicazione: 17 di settembre di u 2026