A ricerca incessante di a precisione à livellu nanometricu in a fabricazione di semiconduttori è l'ispezione ottica à grande scala hà postu esigenze senza precedenti nantu à i sistemi di cuntrollu di u muvimentu. L'ingegneri sò spessu cunfruntati cù una scelta di cuncepimentu critica: l'eleganza senza attritu di i stadii di cuscinetti d'aria o a robusta affidabilità di smorzamentu di vibrazioni di i stadii meccanichi à basa di granitu. In ZHHIMG Group, ricunnoscemu chì a suluzione ottima si trova spessu à l'intersezione di a scienza di i materiali è a dinamica di i fluidi.
U dibattitu principale: Stadii di cuscinetti d'aria vs Stadii di granitu
Per capisce a distinzione, ci vole à fighjà a meccanica di u cuntattu. I palchi tradiziunali di granitu utilizanu spessu cuscinetti meccanichi d'alta precisione - cum'è slitte à rulli incruciati o à sfere - integrati direttamente nantu à unbasa di granituQuesti sistemi sò apprezzati per a so alta capacità di carica è a so rigidità eccezziunale. E proprietà naturali di smorzamentu di u granitu assicuranu chì ogni vibrazione residuale di u mutore o di l'ambiente sia dissipata rapidamente, ciò chì li rende un elementu fundamentale in a metrologia pesante.
À u cuntrariu, i stadii di cuscinetti d'aria rapprisentanu u culmine di a fluidità. Supportendu u carru in muvimentu nantu à una fina pellicola d'aria pressurizzata - tipicamente solu uni pochi di micron di spessore - sti stadii eliminanu u cuntattu fisicu. Sta mancanza di attritu si traduce in zero attritu è zero usura, chì permette a velocità estremamente costante necessaria in l'applicazioni di scansione. Mentre i cuscinetti d'aria offrenu una precisione geometrica superiore, richiedenu una alimentazione d'aria pulita è secca è sò generalmente più sensibili à u caricu eccentricu paragunatu à i so omologhi meccanichi.
Analizà i Tipi di Stadi Ottici per Applicazioni Specializate
U duminiu di l'ottica richiede profili di muvimentu spezializati, chì portanu à u sviluppu di diverse tappe ottiche. A scelta di u tipu ghjustu dipende da i gradi di libertà richiesti è da l'ambiente di l'ispezione.
I tavuli ottici lineari sò forse i più cumuni, utilizendu viti di piombu per una forza elevata o motori lineari per una accelerazione elevata. Quandu hè necessaria una linearità à livellu nanometricu annantu à lunghi percorsi, i tavuli lineari à cuscinetti d'aria sò spessu accoppiati cù interferometri laser per u feedback.
I tavoli ottici rotativi sò essenziali per e misurazioni dipendenti da l'angulu, cum'è a goniometria o u cuntrollu di a centratura di l'elementi di lente. I tavoli rotativi à cuscinetti d'aria sò particularmente vantaghjosi quì, postu chì mostranu una runout assiale è radiale quasi nulla, assicurendu chì l'asse otticu resti perfettamente allineatu durante a rotazione.
I sistemi multiassiali, cum'è e pile XY o XYZ, sò spessu usati in l'ispezione automatizata di wafer. In queste cunfigurazioni, a scelta di una basa di granitu ùn hè micca negoziabile. U granitu furnisce a massa è l'inerzia termica necessarie per impedisce chì u muvimentu di un asse distorca a precisione di l'altru.
A Sinergia di i Cuscinetti di Granitu è d'Aria
Hè una idea sbagliata cumuna chì i stadii di cuscinetti d'aria èpalchi di granitusò mutualmente esclusivi. In fatti, i sistemi di muvimentu più avanzati sò un ibridu di i dui. I stadii di cuscinetti d'aria di alta gamma utilizanu quasi esclusivamente u granitu cum'è superficia di guida. A ragione stà in a capacità di u granitu di esse sovrappostu à una planarità sub-micronica nantu à grandi superfici - una impresa difficiule da ottene cù l'aluminiu o l'acciaiu.
Siccomu i cuscinetti d'aria "compensanu" l'irregularità di a superficia di a guida, l'estrema planarità di una trave di granitu fabbricata da ZHHIMG permette à u filmu d'aria di rimanere consistente in tuttu u viaghju. Questa sinergia dà cum'è risultatu sistemi di muvimentu chì furniscenu u megliu di i dui mondi: u muvimentu senza attritu di l'aria è a stabilità solida cum'è una roccia di u granitu.
Cunsiderazioni di mantenimentu è ambientali
U funziunamentu di sti sistemi richiede un cuntrollu ambientale strettu. I tavulini meccanichi in granitu sò relativamente robusti, ma necessitanu una lubrificazione periodica è una pulizia di e piste di i cuscinetti per impedisce l'accumulazione di detriti. I sistemi di cuscinetti à aria, mentre ùn necessitanu micca manutenzione in termini di lubrificazione, dipendenu da a qualità di l'alimentazione pneumatica. Ogni umidità o oliu in a linea d'aria pò purtà à "otturazione di l'orifiziu", chì pò compromettere u film d'aria è causà un cuntattu superficiale catastroficu.
Inoltre, a gestione termica hè di primura. Tramindui i sistemi beneficianu di l'alta massa termica di u granitu, chì agisce cum'è un dissipatore di calore per i motori lineari. Tuttavia, in l'applicazioni à scala nanometrica, ancu una fluttuazione di un gradu Celsius pò causà una espansione significativa. I laboratori prufessiunali utilizanu spessu recinti di granitu specializati per mantene un microclima stabile intornu à u palcuscenicu.
Cunclusione: Sceglie a basa ghjusta per a vostra innovazione
Ch'ella sia a vostra applicazione chì richiede l'alta capacità di carica di un palcuscenicu di granitu meccanicu o u cuntrollu di velocità ultra-lisciu di un sistema di cuscinetti d'aria, a fundazione ferma u cumpunente u più criticu. In ZHHIMG, ùn furnimu micca solu palcuscenici; furnimu a certezza geologica è meccanica necessaria per i vostri prughjetti i più ambiziosi. Mentre l'industrie di i semiconduttori è di l'ottica si movenu versu tolleranze ancu più strette, u nostru impegnu per l'eccellenza di i materiali è l'ingegneria di precisione assicura chì u vostru sistema di cuntrollu di u muvimentu ùn serà mai u fattore limitante in a vostra ricerca o pruduzzione.
Data di publicazione: 22 di ghjennaghju di u 2026